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高温晶体生长炉:高温晶体生长炉哪个牌子好?

文章出处:洛阳西格玛智能电阻炉 人气:196 发表时间:2019-08-09

什么是单晶生长炉?

单晶生长炉是通过拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

高温晶体生长炉干什么用的?

高温晶体生长炉主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

高温晶体生长炉哪个牌子好?

西格马高温晶体生长炉为高温氧化物晶体生长设备。高温晶体生长炉炉体钟罩式升降,放置坩埚和维护热场。底部坩埚升降,籽晶在坩埚底部,坩埚杆带水冷。采用分子泵或油扩散泵,控制系统带有PLC和摸触屏。

西格马生长炉系列产品有:单晶生长炉、晶体生长炉、单晶硅生长炉、蓝宝石炉、蓝宝石生长炉、碳化硅生长炉、多晶硅生长炉、半导体生长炉、硅单晶生长炉、石墨烯生长炉、vb生长炉、单晶体生长炉、cvd生长炉、野性生长炉石、蓝宝石晶体生长炉。

西格马高温晶体生长炉主要技术参数

1、额定加热温度: 1800℃

2、功率:  80Kw±10%单相整流

3、冷态极限真空度: ≤5×10E-a

4、.压升率:     ≤2Pa/h

5、炉体尺寸:   Ф750×1065mm(直径×高)

6、工作尺寸:   Ф320×300

7、测温系统:    热电偶

8、控温精度:    ±0.1℃,采用日本岛电温控仪表

9、加热区:      一区

10、坩埚升降参数: 位移行程 400mm

 慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

 快速升降50-200mm/min(伺服控制)

11、底出料参数:    位移行程 850mm

                               升降速度100-1000mm/min

12、炉内充气压力:    ≤0.05MPa

13、充放气系统:  两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)

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