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感应加热CVD化学气相沉积炉

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：226 发表时间：2020-07-29

感应加热CVD化学气相沉积炉是由洛阳西格马高温电炉生产的化学气相沉积炉。感应加热CVD化学气相沉积炉是制备C/C复合材料的关键技术装备。

感应加热化学气相沉积炉采用中频感应加热，感应加热化学气相沉积炉采用立式，炉底升降进出料结构。温控系统选用日本岛电或日本岛电智能程序控温仪控温，全套设备包含炉体、中频电源、电控系统、气体控制系统、水冷系统等组成。

技术参数：

1)炉型结构：立式圆筒形，炉底升降装出料。

2)加热方式：中频感应加热

3)额定工作温度：2200℃；

4)常用温度：850~1150℃；

5)炉温均匀性：900±25℃，1100±12.5℃

6)控温方式：智能温控仪表（日本岛点FP23或同等品牌仪表）程序自动控温和手动调功控温两种方式；

7)工作区尺寸：φ1200×H2500mm（直径×高）；

8)额定装载量：＜2T；

9)升温时间：6~8h（室温~1200℃）；

10)额定加热功率：300kw；

11)控温精度：升温过程±2℃，保温过程±1℃；

12)极限真空度：≤50Pa（配置4套H150滑阀泵）；

13)抽气时间：＜50min(空炉冷态抽气达到50Pa)

14)空炉冷态压缩率：≤66.7Pa/h

15)可充气氛：氮气、烃类含碳气体；

16)进气方式：顶部中心；

17)充气流量：300L/min；

18)连续工作时间：＞300h；

19)冷却水：流量：30m3/h;冷却水压力：0.15～0.25MPa。

20）设备占地空间：6000×6000×6000mm(长×宽×高)。

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