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坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200℃-S-HPCVD

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200℃-S-HPCVD
  • 电炉类型:实验电炉
  • 电炉品牌:西格马
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 厂家电话:
坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉--OTF-1200X-S-HPCVD

坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200℃-S-HPCVD

坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉OTF-1200℃-S-HPCVD 的详细介绍

OTF-1200℃-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动(靠步进电机控制)的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm,设备额定温度为1200℃。

设备特点:坩埚通过一步进电机控制炉管,按照设定程序移动,同时坩埚后端安装一热电偶(随坩埚仪器移动),可实时监测样品的温度,意味着可通过移动坩埚的位置,在炉体中准确找到实验所需要的温度,使得实验准确度更高,重复性更强。此款设备可用于多种实验,比如HPCVD(hypidphysicalchemicaldeposition),快速热蒸发,也可用于水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体。

技术参数

高温炉部分

炉体设计为开启式,以便于更换炉管 工作电源:208-240VAC,50/60Hz 功率为:2KW 额定温度:1200℃(<1hr) 连续工作温度:1100℃ 加热区长度:200mm 恒温区长度:60mm(+/-1℃@1000 ℃) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 炉管:高纯石英管,尺寸50mmO.Dx44mmI.Dx450mmL)(点击图片查看详细资料)

温度控制系统

采用PID30段程序化控温,其控温精度为+/-1℃ 控温仪表操作视频 设有过热和断偶保护 热电偶采用K型热电偶

真空密封

采用KF结构密封法兰,硅胶密封圈密封 法兰上安装有一机械压力表 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接(不锈钢波纹管伸缩幅度为150mm) 真空度:10-2Torr(用机械泵抽) 10-5Torr(用分子泵抽)

坩埚移动机构&PLC控制

一个直径为1/4"的欧米伽铠装热电偶(K型),通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),行程为100mm,移动精度为1mm 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(更的移动速度,可与本公司联系定制,需额外收费) 可观察下图,了解坩埚与热电偶的安装方法

加热速率和冷却速率

可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到的加热速率,也可将样品迅速移除高温的炉体,来得到的降温速率

加热速率

10℃/sec(150℃ -250℃);

7℃/sec(250℃ -350℃);

4℃/sec(350℃ -500℃);

3℃/sec(500℃ -550℃);

2℃/sec(550℃ -650℃);

1℃/sec(650℃ -800℃);

0.5℃/sec(800℃ -1000℃);

降温速率

10℃/sec(950℃ -900℃);

7℃/sec(900℃ -850℃);

4℃/sec(850℃ -750℃);

2℃/sec(750℃ -600℃);

1.5℃/sec(600℃ -500℃);

1℃/sec(500℃ -400℃);

0.5℃/sec(400℃ -300℃);

可选配件

可选购手动挡板阀(图1) 防腐型数显真空计(图4) 快速连接法兰,以方便于放置样品(图2) 多路质量流量计控制的混气系统,用于CVD和DVD实验(图5)

尺寸

质保

一年质保期,终生维护(不含加热元件、炉管和密封圈)

CE认证 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

应用

此款设备可用于多种实验,以下列出了几种实验方法 RTE(快速热蒸发):蒸发料放在坩埚中,放入到炉体中心,基片放在样品台上,样品台与热电偶相连接,然后将样品台移动到不错的位置(此位置温度是实验所需要的温度) HPCVD(混合物理化学沉积):与RTE相似,但需配混气系统,对反应气体混合并控制流量,同时也需设定蒸发料的位置(确定蒸发料的蒸发温度) 水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体:将样品和籽晶放入到坩埚中,并将坩埚放入到炉体中心位置,然后设定坩埚移动速度,慢慢移动坩埚
价格需要根据详细参数确定,可与厂家详细沟通

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