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1400℃真空气氛炉

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：107 发表时间：2020-05-15

真空电阻炉用于在1800℃以下半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结等工艺，也可用于电炉的炭化试验。该炉采用硅碳棒加热，日本岛电程序控温仪控制，温控仪可设定40段程序、PID控制参数自整定、并具有断偶、超温报警保护等功能。炉体采用超轻质高铝纤维材料，具有热容小、温度升降控制灵活、节能等特点，设备可根据真空度的需要分别选用机械泵或真空机组，非常适合于试验和小批量生产之用。

真空系统由真空加热室、旋片式机械泵组成，系统冷态极限真空度小于15pa ,一级机械泵（配电磁阀）。真空加热室由双层钢板焊成圆桶形密封套，内装炉膛和端盖，为设备提供良的真空加热环境；同时利用钢板夹层隔绝热量，降低了炉体表面温度，防止灼伤。大抽速式旋片式机械泵可以在很短的时间内使系统达到要求的真空范围，保证了电炉质量。密封元件则采用质硅橡胶密封材料密封，既提高了密封效果，又防止了在氧化气氛下硅橡胶的加速老化，因此特别适合做高温真空气氛设备的密封使用，提高了设备的寿命和使用周期，减少了因密封元件老化而产生的气密泄漏。

主要结构特点：

1、采用双层壳体结构，炉体表面温度更低，设计紧凑，满足实验室小空间要求；

2、炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显于国内纤维材料；

3、加热元件采用质硅碳棒，并根据使用气氛的不同，镀入了不同的保护涂层，大大提高了使用寿命；

4、内炉腔采用耐高温合金材质，专业的真空设计，特的密封技术，保证了炉腔的气密性，真空度远远超过同类电炉；

5、预留两路进气接口，可单控制气体流量，配备混气装置，通入不同的气氛，满足气氛实验要求；

6、该高温电炉集成了内循环水冷却系统，避免外接水源的繁锁，使设备的外表面温度更低；

7、该高温电炉具有超温报警并断电保护功能，漏电保护功能，操作安全可靠，保障了人身安全；

8、预留了485转换接口，通过选配西格马电炉专用软件与计算机联接，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。

1400℃真空气氛炉是西格马电炉研发改进的新款电炉，可视化的7寸大触摸屏，让程序设置更快捷,设备运行状态更直观，本款电炉集成了加热系统，混气系统，真空系统，内循环水冷却系统，监测系统，都可通过控制按钮一键操作。该高温电炉功能全面，满足客户绝大部分要求。

主要用途和适用范围：

用于气氛保护烧结、气氛还原、退火等。

技术参数：

电炉型号	SGMVA1400-322
炉膛尺寸	300200200mm（深宽高）			400300300mm（深宽高）
尺寸和重量	设备：85010001500mm；500kg			设备：95011001600mm；630kg
	包装：85010001450mm；560kg			包装：85010001450mm；710kg
工作电源	AC220V，50/60Hz；额定功率8kw			AC380V，50/60Hz；额定功率14kw
炉体结构	双层壳体结构，耐高温不锈钢合金内腔体
炉膛	日本技术真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
炉门结构	左侧开门，不锈钢手轮挤压式密封
温控系统	温度控制系统采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制40段升降温程序；控温精度±1℃
显示模式	液晶触摸屏显示
加热元件	质硅碳棒
测温元件	S型热电偶，正后方测温
使用温度	额定温度1400℃，连续工作温度≤1350℃
升温速度	推荐≤10℃/min，设计快升温速度20℃/min
降温速度	700℃以上≤10℃/min
真空度	≤15Pa
气体流量	两路浮子流量计混配气系统，量程：0.3-3L/min
不同气氛下的额定使用温度	NO₂、CO₂、O₂、Air	He、Ar、Ne	SO₂		CO、N₂	湿H₂	干H₂
	1350	1300	1250		1300	1200	1250
执行标准	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
标准配置	主机1台，坩埚钳1把，高纯氧化铝坩埚2个，说明书、合格证、保修卡各1份

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