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炉体滑动式小型CVD系统

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：0 发表时间：2023-04-19

此款西格马炉体滑动式小型CVD系统具有先进的设计和功能。小型CVD系统前端配备了400℃预加热器，用于辅助二维材料的蒸发过程。后端采用SGM 1200℃双温区管式炉，温度控制精确且操作简便，为高温处理提供了可靠的支持。

此外，该小型CVD系统还配备了质量流量计系统和真空系统，可准确测量反应腔体内部的气体压力和气体流量，从而实现对低压CVD实验的精确控制。这款CVD系统不仅重复性好，还非常实用，适用于二维材料等应用的研究和生产需求。

滑动式小型CVD系统有400℃预加热器、SGM 1200℃双温区管式炉、滑动系统、真空系统、混气系统组成。炉体滑动式炉又称炉体可滑动式管式加热炉，该款高温管式炉炉底安装一对滑轨,可用手动滑动,可以预先加热炉子到设定的温度,为获得快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。

该滑动式小型CVD系统可用于生长石墨烯研制，小型生长石墨烯设备。

1200度管式炉参数：

设计温度：1200℃

工作温度：1100℃

升降温速率：≤30℃/min

炉管尺寸：高纯度石英管Φ40、Φ60、Φ80、Φ100X1600mm(管径可选)

温区数量：双温区（可选配单温区、双温区、三温区等）

加热区长度：200+200mm

恒温区长度：290mm

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

额定功率：5kw

尺寸约：约550×380×600mm（炉子）；1700×380×620mm（炉子+滑轨）

标准配件：石英管1支，莫来石管堵1对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支；

硫粉预热器炉参数：

工作温度：400℃

设计温度：400℃

加热元件：电阻丝

升温速率：≤30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

三路混气气路系统参数：

质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm（量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec

工作压差范围：0.1～0.5MPa

蕞大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。

低真空系统参数：

设备名称：油旋片式真空泵

国产真空型号：BSV-10

类型：油泵

抽速：10m?/h

极限真空度：5*10-1pa

电源：220v50hz

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1、配用规管：ZJ-52T电阻规，

2、测量范围：105～10-1Pa，

3、测量路数：1路

4、控制范围：5×103～5×10-1Pa，

5、控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载，

6、电源：90-260V/50Hz或220V±10%50Hz，

7、功耗：20W

使用注意事项

1、炉管内气压不可高于0.02MPa。

2、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

3、石英管的长时间使用温度＜1100℃。

4、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开。

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