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1200℃带超声雾化的流化床CVD管式炉系统

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：0 发表时间：2022-08-16

1200℃带超声雾化的流化床CVD管式炉系统是一款带超声雾化模块的立式流化床管式炉系统，可用于粉末材料的CVD工艺中（FBCVD）。此CVD流化床系统由颗粒悬浮立式管式炉和超声雾化模块组成。炉管内部嵌有一多孔石英板，石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。对于核壳结构的纳米颗粒制备是一款合适的实验仪器。

多孔石英板:
孔径：10-15微米
尺寸：φ22mm x 4mm 厚

管式炉技术参数

1、炉管材质：高纯石英管

2、炉管尺寸：中间OD: 80 mm （外管），OD 50mm（内管）

两端Φ25mm；长500mm

3、加热元件：高温合金丝

4、设计温度：1150℃

5、工作温度：连续工作温度：≤1100℃

6、控温精度：±1℃

7、加热区长度：600mm

8、恒温区长度：400mm

9、温控系统：30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7"液晶触摸屏控制

3路质子混气系统：

该质子混气系统内部装有3路高精度质量流量计可准确的控制气体流量；设静态混气室，有助于气体充分混合，按要求配比。

工作电压：185~245V 50HZ

输出功率：18W

流量计标准量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

工作温度：5~45℃

工作压差：0.1~0.5MPa

上限压力：3MPa

准确度：±1.5% FS

测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

针阀：316不锈钢

混气罐：Φ80×120mm

截止阀：Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸：W600×L600×H700 mm

流化区域

配有一个2.4MHz超声雾化仪，可将液体雾化成亚微米级液滴引入到加热流化区域进行热解或粉末表面的CVD涂层包覆

气体以及亚微米级的雾化颗粒均匀分布在整个炉腔中

固体颗粒被底部通入的向上气体悬浮在加热区内

可提供绝佳的热传导及颗粒表面的均匀包覆

炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。

注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量

超声雾化仪

220V AC，2.4MHz高频超声波雾化器，可将溶液雾化为亚微米级颗粒

液体罐上涂有氟化物，并采用氟胶密封圈密封

可设置超声仪功率0-100%，每次按5%增加

外部配备有氟化物光学传感器（耐腐蚀）以及阀门来确保内部液面处于合适高度，避免液体量过少

316不锈钢三通，带有1/4英寸转换接头，用于通入载流气体

氧分析仪：

氧分析仪可安装在系统中用于检测气体中的氧含量从而防止或减少CVD过程中的氧化现象。

流化床—化学气相沉积法可控及批量制备碳纳米管设备，该CVD流化床管式炉设备包括有：自动加液装置、超声波雾化发生装置、气体供应装置、气体流量控制装置、三温区流化床反应器及加热装置、旋风分离器、固体收集装置、净化处理装置。

气体供应装置出气口在经过气体流量控制装置后与超声波雾化装置进气口相连接，自动加液装置出液口与超声波雾化发生装置进液口相连接，通过雾化装置内部的液体控制装置来控制加液。超声波雾化装置的出口与三温区流化床反应器的进料口相连接，反应器的出料口通过透明管与旋风分离器相连接，旋风分离器上面的气体出口与净化处理装置相连接，下面的固体捕集出口与固体收集器相连接。经过旋风分离器后，大量的气体向上通过净化装置后排向大气，而固体则捕集到固体收集装置中。

碳纳米管生长难控制的就是气场和流场温度差异相互影响，由于变量太多，无法确保生长的碳纳米管形态一致，从而质量非常低，本CVD流化床管式炉可解决气场和流场及温度变量的相互影响。

CVD流化床管式炉通过流量计和静态混气室把气体均匀混拌，通过上通气，气体通过双层管(夹层管预热气体，内腔体生长碳纳米管)确保通入的气体进入生长腔体内温度一直，通过多空陶瓷网的结构设计，从而解决均匀进气的问题。使的生长腔体热场流场稳定，确保得到高质量重复性好的碳纳米管。

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