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质子流量计混气控制系统\多通道质子流量计控制系统

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：88 发表时间：2020-09-16

多通道质子流量计控制系统是一款低成本多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜额定可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的LCD触摸屏上，便与操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD或PECVD实验和各种材料的退火实验。

多通道质子流量计控制系统适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制，（可选）

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316/304不锈钢针阀

Φ1/4”不锈钢管

气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

四路质子气体流量计主要参数：

产品名称	四路质子气体流量计
流量计类型	质子流量计
流量计管芯	304不锈钢
调节阀类型	电磁调节阀
管道常态	常闭
流量计外壳	黑色铝壳
气体种类	4种
接口尺寸	1/4"
测量精度	±1.0%F.S
线性度	±0.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
压力范围	-0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围	0～100SCCM
B路气体测量范围	0～200SCCM
C路气体测量范围	0～500SCCM
流量控制范围	2%～100%
零点温漂	0.6F.S(15～35℃)
响应时间	2S
工作环境温度	(15～50℃)
精度保证温度	(15～35℃)
供电电源	220V 50Hz
外形尺寸	L800×W600×H580
设备重量	63kg

多通道质子流量计控制供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

四通道质子流量计控制供气系统的配置：

质子流量计：4个

压力表：1个

截止阀门：5个

穿板接头：5个

阀门接头：2个

钢瓶接头: 4个

聚四氟乙烯管：20M

混气罐：1个

炉架：1台

多通道质子流量计控制系统应用范围：

1.用于半导体制造行业中气体流量控制
2.用于各种真空镀膜设备
3.用于材料表面处理
4.用于气体燃烧控制
5.用于混和配气系统
6.用于泄漏探测系统
7.用于环境检测与分析设备
8.用于分析仪器的气体流量计量与控制
9.用于化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

多通道质子流量计控制系统常用尺寸规格参数：

产品	二通道质子流量计控制系统	三通道质子流量计控制系统	四通道质子流量计控制系统	五通道质子流量计控制系统
工作温度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
额定压力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重复精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范围	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM
注意	其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用			五-九路可按照客户要求定制

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四路质子气体流量计主要参数：

四通道质子流量计控制供气系统的配置：

多通道质子流量计控制系统应用范围：

多通道质子流量计控制系统常用尺寸规格参数：

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操作说明

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