真空炉的安装调试及操作步骤

    1、参照图纸提供的真空炉平面布置、安装位置和土建条件，选好设备永久安装地点并进行土建施工。真空炉安装地点应无烟尘污染，环境清洁，空气干燥，不应与其他设备等放在一起，保持室温10-35℃，地面平整光洁。 

   2、安装石墨电热元件和水冷电极时，应注意： 

   a.拿石墨元件时要极为小心，以防损坏； 

   b.要可靠地拧紧螺栓，以达到良好的电接触，不要用力太大，避免螺纹断扣。 

   3、按真空系统图将真空系统定位，组装并与炉体连接。装配时把O型密封圈涂上一层薄薄的真空油脂，均匀地拧紧法兰。 

   4、按水冷系统图，将进水管与排水管分别接到炉子的进、排水口上，提供压力为0.1-0.15MPa，温度不低于15℃，不高于30℃的水源，设计好提供循环水、防锈水。 

   5、提供压力设计小为0.5MPa的气动气源，可用工业氮气，如用压缩空气，则自备气动“三大件”（如油雾气、减压器、分水滤气器）。 

   6、按回充气体系统图将管路接至回充管路上，并建议提供纯度为99.99%—99.999%的高纯度氮气作为回充气体。 

   7、按电气接线图把电源接到相应的电接点上，校核电源电压，连接控制箱，动力箱和炉体间的电线电缆。 

   8、安装其余零部件，包括导管、测量仪器仪表等。 

   9、炉体和控制箱均接地，接地电阻≤4欧，仪表和真空计的规管电缆也应接地。

 

二、 真空炉调试与验收方法是什么？

  真空炉调试与验收方法：

    真空炉设备按技术要求安装完毕后，无缺件并有良好的接地时，即可按下列项目进行真空炉调试与验收。 

   1、检查项目 

   1）对真空炉进行外观质量检查：外表面应光洁平整，无严重压坑和机械碰伤。 

   2）主要外购的真空炉配套件与真空炉说明书，合格证的检查：如真空机组、磁性调压器、电子电位差计、控温微处理机、真空继电器等。 

   2、冷炉调试 

  1）机械、气压、电气联动调试，调整工件传送转移时间≤25S，整个联动在装载200Kg的情况下，连续动作三次应协调平稳，准确可靠。 

  a.真空隔热门开启或关闭行程时间调至≤8 S。 

  b.工件车前进至加热室行程时间调至12—15 S。 

  c.工件车上升或下降行程时间调至≤3 S。 

  d.工件车后退至冷却室行程时间调至12—15 S。 

  e.装载200Kg进行联动试验真空炉，总行程时间为≤25 S连续动作应协调平稳，准确可靠。 

  2）气冷风扇调试，转速约2900r/min,转动灵活，无异常现象。 

  3）报警系统调试，应准确无误，安全可靠。 

  4）测量绝缘电阻大于等于20千欧。 

  5） 测量炉子冷态真空度，压升率接近0.5Pa/h（可结合在热调试中进行）。 

  3、热调试 

  1）在真空炉真空度不低于13.3Pa的情况下通电烘炉，在炉温缓慢升至1300℃的整个过程中，炉子真空度不应低于13.3Pa，经过充分烘烤 ，除气后，压升率达到技术要求时即可。 

  2）极限真空度测量：不低于6×1.0-4Pa。 

  3）工作真空度测量：不低于2.7Pa（在1000空炉时）。 

  4）压升率测量：在真空炉加热至1200℃时，经过充分烘烤除气后，炉温冷却至100℃以下时再测压升率，应达到0.5Pa/h. 

  5）回充气体调试：当冷却室真空度为1.33Pa时，关闭真空 隔热门、冷却室真空阀，并立即向冷却室炉充入氮气0.06MPa时，时间应在 2.5（秒）完成，并且加热室的真空度不得低于670Pa。 

  3、真空炉操作程序 

  1、开炉准备 

  1）检查真空炉上的各电器接头是否紧固，各组成部分是否清洁、正常。 

  2）测量绝缘电阻不应小于2千欧。 

  3）调节真空炉温度控制仪表，时间继电器等，使其符合热工工艺规程的要求。 

  4）打开回充氮气开关。 

  5）打开气动气源开关。 

  6）打开水冷系统总开关。 

  7）电源总开关合闸。 

  8）磁性调压器，控制柜上的总开关合上。 

  9）打开冷却室电磁放气阀，向炉内放气。 

  2、真空炉开炉步骤： 

  1）打开水冷系统各截止阀，保证排水通畅，在炉子工作期间，排水温度不得超过35℃以防积垢。 

  2）打开炉盖，将工件送入炉内冷却室，然后关闭炉盖。 

  3）启动机械泵。 

  4）打开冷却水真空阀对冷却室抽真空，当冷却室与加热室真空度相近时，方可进行下面操作程序。 

  5）打开真空隔热门。 

  6）将工件、工件车送入加热室。 

  7）工件、工件车下降，工件停放在炉床上。 

  8）工件车回至冷却室。 

  9）关闭真空隔热门。 

  10）开热室真空阀。 

  11）真空度≤800Pa时，启动机械增加泵。 

  12）真空度至20Pa时，通电加热，升温，保温（按工艺要求）。

  13）保温结束关闭加热室，冷却室上的真空阀及停止机械增加压泵工作。 

  14）机械泵停止工作。 

  15）打开真空隔热门。同时进行 

  16）炉子断电，停止加热。 

  17）工件车进入加热室。 

  18）取放工件气缸上升，工件车托起工件。 

  19）工件车及工件退回冷却室。 

  20）关闭真空隔热门。 

  21）向冷室充入氮气，压强至0.06MPa。 

  22）启动冷却风扇。 

  23）工件冷却至约120℃时，关风扇。 

  24）开冷室放气阀，向炉内充气至大气状态。 

  25）打开炉盖，取出工件。 

 4真空炉停炉 

  1）关闭回充氮气开关。 

  2）关闭气动气源开关。 

  3）当炉温降至120℃以下时，关闭水源总开关及各部分截止阀。 

  4）拉开电源总开关。 

  5、维修与保养 

  1、工作完毕后，炉内须保持在0.06MPa以下的真空状态。 

  2、炉内不干净或有尘土时，应用酒精或丙酮浸湿过的绸布擦拭干净，并使其干燥。 

  3、炉体、真空系统等零部件拆装时，应用丙酮或酒精洗净，干燥后涂上真空油脂再装上。 

  4、设备外表面应经常擦拭，保持清洁。 

  5、电气系统的电接头应保持干净、紧固，每开炉前应检查各电接头是否紧固。

  6、经常检查炉子的绝缘电阻，其值不应小于2千欧。否则要认真检查电热元件、电极、隔热屏的电阻等，及时排除故障。 

  7、机械传动件按一般机械设备的润滑要求，定期加油或换油。 

  8、真空机组、阀门、磁性调压器、测量仪表、热工仪表等配套件，均按出厂产品所带的技术说明书予以维修和保养。 

  9、应停电维修，在带电情况下维修时，必须保证操作人员、维修人员及设备的绝对安全。 

10、加热过程中，炉内真空度低于20Pa时，应停止加热升温 。 

11、工件、料筐须经清洗干燥后，方可进入炉内，防止水份、污物进入炉内。 

12、各传动件发现卡位、限位不准，控制失灵等现象时，应立即排除，不要强操作，以免损坏机件。 

13、严格按操作规程操作，不准随意掀动按钮，拨动开关，所有操作人员必须经过培训并考核通过才可以正式操作真空炉。非正式操作人员严禁操作。 

14、控制柜应有电源急停装置。必须做好停电的预防措施！真空炉的冷却循环水系统严禁断水!冷却水的压力必须按照额定压力设备冷却水处压力：0.15～0.3MPa、流量约30m3/h。进水温度≤32℃、推荐用户主水泵配扬程约50m, 流量约30m3/h。需要水池及冷却塔。压缩空气源：0.4～0.8MPa、流量：1m3/h   。真空炉因为安装了水温、水压和流量继电器，当出现不正常情况时应能断电，并及时报警。

15、真空炉的抽气系统中因为配备与电源联锁的自动阀门，在发生停电事故时能够关断抽气管路，防止空气和真空泵油进入炉内。

真空计的维护与保养 ： 

1、 按照PLC程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后（大约1-2 min），打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空。

2、 按照PLC程序抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。 

A：真空计有两个量程表，低真空量程1.0×10-1.0×10；高真空量程1.0×10-1.0×10,一般在2Pa开始转换量程。注意充大气进去前，应关闭真空计开关，防止真空计老化。真空计的检定周期为1年。

 

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