RTP真空快速退火炉
RTP真空快速退火炉又称快速扩散炉、快速退火管式炉。该快速退火管式炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将材料快速的加热到300℃-1000℃.
该快速退火炉采用进口红外线加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。快速退火炉是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际领先的模糊PID控制,具有很高的控温精度±1℃,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。
主要技术规格
1、加热方式:红外卤素钨灯,150Wx4ea
HalogenLampandIRreflectivemirror
2、卤灯数量:4支
3、升温速率:100℃/Second
4、快降温速率:50秒(1000℃→400℃)
5、设计温度:1000℃
6、温度精度:+/-1℃
7、样品尺寸:15x20mm
8、工作环境:真空、引入气体、空气
Invacuumstatus,purgegasflow,ambientatmosphere
9、真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(Option)
10、电压:220V,单相
11、尺寸:400*300*450mm(W*D*H)
12、质量:净重30Kg
13、可配多路混气室:MFC控制,2、4、6多路可选 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);
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