2kg气相沉积硅碳流化床
文章出处：洛阳智能高温电阻炉-洛阳赛特瑞智能装备 人气：0 发表时间：2026-08-06
2kg气相沉积硅碳流化床
型号：STR FBCVD2-9
规格：实验级（2kg）
新硅碳产能：2kg
出料方式：间歇
额定功率：20kW
反应气体：氮气+硅烷+乙炔（可定制）
反应温度：450~900℃
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此文关键词： 2kg气相沉积硅碳流化床
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