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1200℃双管滑轨管式炉：RTP快速升温炉

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：0 发表时间：2024-04-20

1200℃双管滑轨管式炉为实验室用RTP快速升温炉，具有内外管组成的2层炉管的管式炉。双管滑轨管式炉炉体安装双向导柱滑轨，左右拉动炉体能保证让样品达到快速的升降温。双层石英管可用于生长大尺寸薄膜石墨烯研制的，也应用于有快速升温需要的CVD实验。

主要技术参数：

电炉名称	1200℃双管滑轨管式炉：RTP快速升温炉
额定功率	7KW
额定电压	AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
设计温度	1200℃（1hr）
工作温度	≤1100℃
升温速率	≤10℃/min
炉管尺寸	高纯石英管*2支（内管+外管）异形内管尺寸：Φ100×1000mm 外管尺寸：Φ130×1800mm
加热区长度	300+300+300mm
恒温区长度	150+200+150mm
可移动范围	1760mm
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝(进口康泰尔电阻丝）
质量流量计量程	50sccm，100sccm，100sccm，200sccm.（量程可根据客户要求配置）
标准配置	石英管2根（内管和外管各1根），不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，管堵2只，高温手套1副，坩埚钩1支
可选附件	石英托架，石英舟，石英钩，电阻真空计，手动挡板阀，波纹管，卡箍，真空泵，供气系统
尺寸参考	1100×450×600mm（电炉） 2000×500×760mm（电炉+滑轨）
包装尺寸	2100×600×1200（木箱包装）

本双管滑轨管式炉可生产单温区滑轨管式炉、大口径双管滑轨管式炉、双温区双管滑轨管式炉。

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