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小型气氛井式炉

文章出处:洛阳西格玛智能电阻炉 人气:0 发表时间:2023-03-22

小型气氛井式炉炉体采用密封外壳,硅胶密封盖,带硅胶垫圈和水冷系统的密封门,配有进出口、气体浮过流量计。

小型气氛井式炉主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片,也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。

规格型号参数:

电炉型号 SGM-VCF-1200T SGM-VCF-1400T SGM-VCF-1600T
炉膛尺寸 O.D.205 x I.D.190 x H340 O.D.160 x I.D.140 x H200 O.D.150 x I.D.130 x H200
设计温度 1200 ℃ 1400 ℃ 1600 ℃
工作温度 1100 ℃ 1300 ℃ 1500 ℃
加热元件 含钼电阻丝 硅碳棒 硅钼棒
控温方式 30段可编程自动控制 50段可编程自动控制
50段可编程自动控制
升温速率 0~20 ℃/分 - -
温控精度 ± 1℃ - -
最大真空度 -0.1MPa - -
炉膛材料 氧化铝陶瓷纤维板 - -
炉壳 双层风冷结构 - -
额定电压 220V/380V 50/60Hz

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