当前位置：首页 > 新闻中心 > » »电炉常识硅碳棒加热流化床CVD

硅碳棒加热流化床CVD

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：0 发表时间：2022-08-16

硅碳棒加热流化床CVD由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统、组成。

该硅碳棒加热流化床CVD采用硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等特点。

炉管为高纯石英异形，炉管内嵌有石英网。石英管网孔大小可定制：10-200um

应用范围：

硅碳棒加热流化床CVD可用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

产品名称	硅碳棒加热流化床CVD系统
产品型号	SGM-FTF100-12CVD
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	优质硅碳棒
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区、多温区
温区总长度	200、300、440
炉管材质	高纯石英管
炉管直径	40、50、60、80、100mm......
石英网板	石英管网孔大小可定制：10-200um
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	多段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
气路系统
工作电压	220V/50HZ
输出功率	18W
工作温度	5--45℃
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	质量流量计
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
.....	.....
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
数显真空计及连接件
数显真空计	数显真空计安装在不锈钢法兰上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

小型立式管式炉熔炼炉小型箱式气氛炉 koh刻蚀硅管转动管式炉

中试硬碳负极前驱体预碳化炉玻璃退火升降炉塑料熔点真空气氛搅拌炉 1700度带搅拌箱式炉

此文关键词：硅碳棒加热流化床CVD