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硅碳棒加热流化床CVD

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：0 发表时间：2022-08-16

硅碳棒加热流化床CVD由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统、组成。

该硅碳棒加热流化床CVD采用硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等特点。

炉管为高纯石英异形，炉管内嵌有石英网。石英管网孔大小可定制：10-200um

应用范围：

硅碳棒加热流化床CVD可用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

产品名称	硅碳棒加热流化床CVD系统
产品型号	SGM-FTF100-12CVD
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	优质硅碳棒
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区、多温区
温区总长度	200、300、440
炉管材质	高纯石英管
炉管直径	40、50、60、80、100mm......
石英网板	石英管网孔大小可定制：10-200um
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	多段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
气路系统
工作电压	220V/50HZ
输出功率	18W
工作温度	5--45℃
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	质量流量计
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
.....	.....
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
数显真空计及连接件
数显真空计	数显真空计安装在不锈钢法兰上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

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