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1200小型快速退火炉：碘钨灯管加热炉

文章出处：洛阳西格玛智能电阻炉人气：198 发表时间：2021-03-23

RTP-1200度小型快速退火炉(RTP/RTA)为洛阳西格马高温电炉生产的快速退火炉。快速退火炉一般都是以碘钨灯管为发热元件，升温速度极快，采用S型热电偶测温并采用国际的模糊PID控制，具有很高的控温精度〈±5℃〉，快速退火炉具有真空装置，可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。

退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢氮混合气等)；真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；

小型快速退火炉采用红外卤素灯快速加热。卤素灯与碘钨灯区别？碘钨灯是卤素灯的一种

快速退火炉技术参数：

可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；

温控精度高；

无须配置冷水机；

无须使用三相电，普通实验室单相电即可使用；

紧凑的台式设计；

仪器操作方便，样片装取容易；

适合高校或研究所科研使用；

价格合理，高性价比；

应用领域：

快速热退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);

快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);

快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);

扩散 (Diffusion);

硅化 (Silicidation);

化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);

离子注入后退火 (Implant Annealing);

电极合金化 (Contact Alloying);

晶体化和致密化 (Crystallization and Densification);

合金熔点分析；

薄膜沉积；

等等…

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