高温管式炉怎么选？

高温管式炉又称为管式加热炉、管式电阻炉管式高温炉。我们在使用高温管式炉时，都会选择适合自己的。目前，市场上高温管式炉类型与品牌繁多，而且每个高温管式炉都有属于自己的点和缺点，所以我们要根据自己的实际使用情况来选择设计为适合自己的高温管式炉。那么现在市场上的高温管式炉都有哪些类型呢？高温管式炉怎么选？

管式炉类型可分：

1、真空管式炉、气氛管式炉

2、普通管式炉、旋转管式炉、多工位管式炉

3、分体管式炉、一体管式炉、立式管式炉、卧式管式炉

4、单温区管式炉、双温区管式炉、三温区管式炉、五温区管式炉

单温区高温管式炉采用的质电阻丝加热，炉温均匀，发热量均衡。

双温区高温管式炉的加热原件则是采用硅钼棒或硅碳棒，有两个加热区，两个温区可以立控制，设置不同的温度。

硅钼棒建议放在高温区，工作温度设计好是控制在900度~1400度以内，温度不要低于900度，否则会对硅钼棒的使用寿命有影响。另外，管子内部的容器比如瓷舟的材质一定要选用刚玉材质的。

双温区高温管式炉的升降速率快，是各大高校，研究院，工矿企业做高温气氛烧结，气氛还原，CVD实验，真空退火的不错的设备。

 

如何选择管式炉？

1、根据需求选择管式炉类型：

 单区与多区：多区炉具有多个立控制的恒温区，允许受控的温度梯度或较长的加热区。

 水平（标准）与垂直：垂直管炉提供较小的占地面积，可用于快速加热/淬火过程

 RTP（快速热处理）：可滑动的样品保持器或加热炉

 高压/真空炉：特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管

 旋转管式炉：加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性

 气体处理能力：可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型

 多功能：基于管式炉的完整系统，如 CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和 2D 材料生

长系统等。

2、根据长期工作温度选择管式炉额定温度加热元件、炉管：

      请注意有额定高温度（可维持 1 小时）和连续工作温度（安全，连续使用温度）

额定工作温度取决于所用的加热元件，可分为四类：

a. 250～1250°C温度，选择：Fe－Cr－Al 或 Ni-Cr－Al 合金加热元件， K 型热电偶

b. 1300～1600°C温度，选择：SiC 加热元件 ，S 型热电偶

c.1600～1800°C 温度，选择：MoSi2 加热元件， B 型热电偶

d. 1800～2000°C 温度，选择：石墨或 W 加热元件 ，C 型热电偶

 

选择对应于炉膛额定温度的加工管：

a.石英管：在 1 安培下不超过 1200°C；真空下不超过 1000°C

b.莫来石管：1℃以下的 1500°C；真空下不超过 1300°C

c.氧化铝管：在 1 安培下小于 1800°C；真空下不超过 1500°C

d. SS310 管：在 1 ATM 下为 1000°C，真空下为 800°C。（用于高压/真空炉）

e.超合金管：1 安培下的 1000°C，真空下不超过 900°C。（用于高压/真空炉）

选择与炉膛额定温度相对应的坩埚：

a.石英坩埚：小于 1200°C

b.氧化铝坩埚：小于 1700°C

c.氧化锆坩埚：小于 2100°C

d.石墨坩埚：小于 2300°C

3、根据样品选择管式炉加热区长度

请注意，总的加热区长度（加热元件覆盖的长度）和恒温区长度（中心区小于±1°C 变化）是有区别的。

恒温区总是比总加热区短。请选择一个恒温带比你的样品更长的加热炉。

4、根据样品选择管径（内径）和坩埚尺寸

 请根据样品体积选择相应的管径和坩埚尺寸。

5、选择输入电压

根据国家或地区在 110 VAC 和 220 VAC 之间进行选择

6、选择真空泵

选择机械泵用于真空至 1.0E-2 Torr；选择涡轮分子泵真空至 1.0E-5 Torr。为了减少机油颗粒

污染，可以使用无油泵（真空至 1.0E-2 Torr）代替机械泵。

石英管使用注意事项：

 炉管内气压不可高于 0.02MPa

 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀

 当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在

常压状态

 进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 石英管的长时间使用温度＜1100℃

 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品

加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意

外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

 

 

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