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2kg气相沉积硅碳流化床 -洛阳智能高温电阻炉-洛阳赛特瑞智能装备

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PRODUCT

2kg气相沉积硅碳流化床

型号：STR FBCVD2-9

规格：实验级（2kg）

新硅碳产能：2kg

出料方式：间歇

额定功率：20kW

反应气体：氮气+硅烷+乙炔（可定制）

反应温度：450~900℃

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