钼带加热炉：高真空热处理炉

一、简介

钼带加热炉为高真空热处理炉，钼带加热炉是一种采用钼带作为加热元件的高温真空电阻炉,广泛应用于金属材料、陶瓷、石英、半导体等行业的高温处理工艺。其加热元件为钼金属带,具有高温强度好、热效率高、无污染等优点,适用于高真空或保护气氛下的热处理工艺。

二、用途

金属材料的高温退火、烧结、钎焊、除气处理

石英材料的脱羟处理

陶瓷、玻璃等材料的真空烧结

半导体材料、钨钼制品的高温热处理

工具钢、模具钢的真空气淬处理(配合气冷系统)

三、工作原理

钼带加热炉基于电阻加热原理:电流通过钼带产生焦耳热,热量以热辐射方式传递给工件。炉膛内通过真空系统抽除空气,形成高真空环境(≤6.67×10?3Pa),防止材料氧化、脱气,确保高纯度热处理。

在气淬炉中,加热完成后通入惰性气体(如氮气、氩气),通过高速风机循环冷却,实现快速淬火。

四、主要技术参数(典型型号)

参数	指标
最高温度	1600℃
工作温度	1500℃(长期使用)
加热元件	钼带(厚度0.8~1.5mm,宽度50~100mm)
炉膛结构	立式 / 卧式 / 升降式
工作区尺寸	Φ200×200mm / Φ400×500mm(可定制)
极限真空度	≤6.67×10⁻⁴Pa(配分子泵)
压升率	≤1Pa/h
控温精度	±1℃
升温速率	≤10℃/min(可编程控制)
电源	380V,三相,50Hz

结构特点:

1、加热系统

钼带呈弧形或环形布置,紧贴炉膛内壁,辐射均匀

带体设有加强筋,增强高温抗变形能力,延长使用寿命

钼带两端设有圆孔与条形孔,便于安装与热膨胀补偿

2、隔热系统

多层金属反射屏(钼+不锈钢),热损失小,升温快

层间采用高纯氧化铝陶瓷支撑,绝缘性好,放气量低

3、炉体结构

双层水冷结构,炉壳温度≤50℃

炉门为前开门或升降式,密封可靠,操作方便

4、真空系统

机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵组合,快速抽真空

数显真空计+PLC自动控制,实现高低真空切换

5、电控系统

PID智能控温,支持30段程序升温

触摸屏操作,具备超温、断水、过流报警与自动保护功能

六、易损件与使用寿命

易损件	寿命	说明
钼带加热体	6~12个月	高温下易氧化、变脆,需定期更换
金属反射屏	1~2年	长期高温下可能变形或氧化
热电偶(B型)	6~12个月	高温老化,需定期校准
水冷电极	1年以上	检查密封性,防止漏水

注:钼带寿命与使用温度、气氛纯度、升降温速率密切相关。加强筋结构可显著延长使用寿命

使用注意事项

严禁在氧化气氛下使用,必须抽真空或通入保护气体(如氩气、氮气)

钼带严禁受潮,使用前需干燥处理,防止高温氢脆或氧化

升温速率控制在≤10℃/min,避免热应力导致钼带开裂

最高温度不得超过1600℃,长期工作建议≤1500℃

定期检查水冷系统,防止断水造成电极或炉壳过热

停炉后应继续通保护气体至200℃以下,防止氧化

更换钼带时应整体更换,避免新旧混用导致电流不均

炉内应保持清洁,避免挥发物污染反射屏或造成短路

严禁超载装料,避免遮挡辐射路径导致温度不均