钼带加热炉:高真空热处理炉
一、简介
钼带加热炉为高真空热处理炉,钼带加热炉是一种采用钼带作为加热元件的高温真空电阻炉,广泛应用于金属材料、陶瓷、石英、半导体等行业的高温处理工艺。其加热元件为钼金属带,具有高温强度好、热效率高、无污染等优点,适用于高真空或保护气氛下的热处理工艺。
二、用途
金属材料的高温退火、烧结、钎焊、除气处理
石英材料的脱羟处理
陶瓷、玻璃等材料的真空烧结
半导体材料、钨钼制品的高温热处理
工具钢、模具钢的真空气淬处理(配合气冷系统)
三、工作原理
钼带加热炉基于电阻加热原理:电流通过钼带产生焦耳热,热量以热辐射方式传递给工件。炉膛内通过真空系统抽除空气,形成高真空环境(≤6.67×10?3Pa),防止材料氧化、脱气,确保高纯度热处理。
在气淬炉中,加热完成后通入惰性气体(如氮气、氩气),通过高速风机循环冷却,实现快速淬火。
四、主要技术参数(典型型号)
参数 | 指标 |
---|---|
最高温度 | 1600℃ |
工作温度 | 1500℃(长期使用) |
加热元件 | 钼带(厚度0.8~1.5mm,宽度50~100mm) |
炉膛结构 | 立式 / 卧式 / 升降式 |
工作区尺寸 | Φ200×200mm / Φ400×500mm(可定制) |
极限真空度 | ≤6.67×10⁻⁴Pa(配分子泵) |
压升率 | ≤1Pa/h |
控温精度 | ±1℃ |
升温速率 | ≤10℃/min(可编程控制) |
电源 | 380V,三相,50Hz |
结构特点:
1、加热系统
钼带呈弧形或环形布置,紧贴炉膛内壁,辐射均匀
带体设有加强筋,增强高温抗变形能力,延长使用寿命
钼带两端设有圆孔与条形孔,便于安装与热膨胀补偿
2、隔热系统
多层金属反射屏(钼+不锈钢),热损失小,升温快
层间采用高纯氧化铝陶瓷支撑,绝缘性好,放气量低
3、炉体结构
双层水冷结构,炉壳温度≤50℃
炉门为前开门或升降式,密封可靠,操作方便
4、真空系统
机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵组合,快速抽真空
数显真空计+PLC自动控制,实现高低真空切换
5、电控系统
PID智能控温,支持30段程序升温
触摸屏操作,具备超温、断水、过流报警与自动保护功能
六、易损件与使用寿命
易损件 | 寿命 | 说明 |
---|---|---|
钼带加热体 | 6~12个月 | 高温下易氧化、变脆,需定期更换 |
金属反射屏 | 1~2年 | 长期高温下可能变形或氧化 |
热电偶(B型) | 6~12个月 | 高温老化,需定期校准 |
水冷电极 | 1年以上 | 检查密封性,防止漏水 |
注:钼带寿命与使用温度、气氛纯度、升降温速率密切相关。加强筋结构可显著延长使用寿命
使用注意事项
严禁在氧化气氛下使用,必须抽真空或通入保护气体(如氩气、氮气)
钼带严禁受潮,使用前需干燥处理,防止高温氢脆或氧化
升温速率控制在≤10℃/min,避免热应力导致钼带开裂
最高温度不得超过1600℃,长期工作建议≤1500℃
定期检查水冷系统,防止断水造成电极或炉壳过热
停炉后应继续通保护气体至200℃以下,防止氧化
更换钼带时应整体更换,避免新旧混用导致电流不均
炉内应保持清洁,避免挥发物污染反射屏或造成短路
严禁超载装料,避免遮挡辐射路径导致温度不均
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