质量流量计控制供气系统：多路气体配比器
质子混气系统、多路气体配比器为质量流量计控制供气系统
质量流量计控制供气系统
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产品 |
二通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
九通道 |
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工作温度 |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
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最大压力 |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
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精度 |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
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重复精度 |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
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流量范围 |
一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五路：1~499 SCCM |
3路:0~100SCCM 3路:1~199SCCM 3路:10~1000SCCM
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注意 |
其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用 |
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五-九路可按照客户要求定制 |
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