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质量流量计控制供气系统：多路气体配比器

文章出处：洛阳智能高温电阻炉-洛阳赛特瑞智能装备人气：0 发表时间：2024-06-03

质子混气系统、多路气体配比器为质量流量计控制供气系统

质量流量计控制供气系统

产品	二通道	三通道	四通道	五通道	九通道
工作温度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
最大压力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重复精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范围	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五路：1~499 SCCM	3路:0~100SCCM 3路:1~199SCCM 3路:10~1000SCCM
注意	其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用				五-九路可按照客户要求定制

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