RTP真空快速退火炉

RTP真空快速退火炉又称快速扩散炉、快速退火管式炉。该快速退火管式炉是利用卤素红外灯做为热源,通过极快的升温速率,将材料快速的加热到300℃-1000℃.

该快速退火炉采用进口红外线加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。快速退火炉是以碘钨灯管为发热元件，升温速度极快，采用S型热电偶测温并采用国际领先的模糊PID控制，具有很高的控温精度±1℃，快速退火炉具有真空装置，可在多种气氛下工作。

主要技术规格

1、加热方式：红外卤素钨灯，150Wx4ea

HalogenLampandIRreflectivemirror

2、卤灯数量：4支

3、升温速率：100℃/Second

4、快降温速率：50秒(1000℃→400℃)

5、设计温度：1000℃

6、温度精度：+/-1℃

7、样品尺寸：15x20mm

8、工作环境：真空、引入气体、空气

Invacuumstatus,purgegasflow,ambientatmosphere

9、真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(Option)

10、电压：220V，单相

11、尺寸：400*300*450mm(W*D*H)

12、质量：净重30Kg

13、可配多路混气室：MFC控制，2、4、6多路可选 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；