1400度可控气氛箱式炉：氮气洗膛（氧环境+氢还原）

本设备为工业级可控气氛箱式炉，专为精密电子元器件批量烧结工艺定制研发，是集高精度气氛调控、智能温控、密闭保温、自动化运行于一体的高温热处理设备。设备支持氮氢混合气、纯氧气、纯氮气多气体时序切换，可实现氧化、还原、吹扫置换等多类烧结工艺，最高工作温度1500℃，具备控温精准、温场均匀、气密性优异、运行稳定的特点。设备适配实验室电子元器件烧结品质一致性，同时结构模块化、运维便捷、安全防护完善，用于实验室高温气氛还原使用。

二、设备工作原理

本可控气氛箱式炉设备依托气氛闭环调控+精准恒温加热+密闭绝热保温+智能程序控制核心原理完成精密烧结作业。整体工作流程分为气路置换、升温烧结、恒温保艺、降温停机四大环节。

可控气氛箱式炉设备通过独立多路气路系统，利用质量流量计、浮子流量计精准控制各类工艺气体流量，配合炉体高密封结构，实现炉内气氛精准置换与稳定维持；搭载氧化锆氧含量传感器实时监测炉内氧浓度，联动PLC系统完成气体自动调节与异常联锁保护。温控系统通过S型铂铑热电偶实时采集炉内温度，结合智能PID自适应算法，控制硅钼棒加热体均衡发热，配合炉膛多层保温结构减少热损耗，实现全域精准控温与均匀温场。同时设备内置多段可编程工艺程序，可自动匹配升降温、气体切换、恒温保压时序逻辑，全程自动化完成精密烧结工艺，规避人工操作误差，保障量产稳定性。

三、设备主要技术参数

炉膛尺寸：深300mm×宽250mm×高200mm

最高温度：1500℃

工作温度：1400℃

静态控温精度：±1℃（S型铂铑热电偶测温）

温场均匀性：≤±5℃（全设备使用寿命周期内稳定保持）

加热元件：高温硅钼棒加热体（受工况环境影响，加热元件易损）

温控系统：多段可编程PID智能温控，支持50段以上复杂升降温曲线编辑、工艺配方存储与一键调用

可用气氛：氮氢混合气、纯氧气、纯氮气

供气控制：氮氢混合气、纯氧气采用质量流量计精准控流；纯氮气采用浮子流量计控流，用于洗气、管路置换

氧含量检测：采用高温氧化锆传感器，检测精度10ppm～100ppm

气密性指标：1500℃高温稳态工况下，10分钟炉内压力回升≤50Pa

运行模式：全自动PLC时序联动控制，支持手动、自动双模式切换

安全配置：超温、超压、漏气、氧含量异常、过载多重联锁保护

四、设备结构特点与整体组成

1、 核心结构特点

设备采用一体化模块化工业设计，分区清晰、结构稳固、耐久度高。

炉体采用全密封焊接工艺，搭配耐高温密封组件，高温气密性极佳；

炉膛采用高强度氧化铝纤维保温结构，蓄热低、升温快、耐冷热冲击、无粉尘污染；

加热系统采用分布式布热设计，温场均匀稳定；气路、电路、温控系统分区布局，便于检修维保。

2、 设备整体组成

本设备主要由炉体保温系统、加热温控系统、气氛供给控制系统、氧含量检测系统、PLC工控系统、安全防护系统六大核心单元组成。

炉体保温系统：包含钢制炉体、耐高温炉门、真空密封组件、氧化铝纤维保温层，实现炉体密闭、隔热、保温功能；

加热温控系统：由硅钼棒加热体、S型铂铑热电偶、智能温控仪、PID调节模块组成，负责精准加热与恒温控制；

气氛供给控制系统：含三路独立气路、质量流量计、浮子流量计、电磁阀、时序控制模块，实现多气体自动切换与精准供气；

氧含量检测系统：由高温氧化锆传感器、数据采集模块、报警模块组成，实时监测炉内氧浓度；

PLC工控系统：工业触摸屏、可编程控制器、数据存储模块，实现工艺编辑、自动运行、数据溯源；

安全防护系统：超温保护器、压力泄压阀、漏气检测、联锁停机、过载保护组件，保障设备安全运行。

五、主要配件清单

为保障设备稳定量产，整机核心配套工业级配件清单如下：

加热配件：高温硅钼棒加热体、加热接线端子、绝缘保温配件

测温配件：S型铂铑高温热电偶、测温补偿导线、温度采集模块

气路配件：氮氢混合气质量流量计、纯氧气质量流量计、纯氮气浮子流量计、耐高温电磁阀、高压气管、密封接头、气体过滤器

检测配件：高温氧化锆氧含量传感器、压力传感器、温度传感器

控制配件：工业PLC控制器、触摸显示屏、智能温控仪表、电源控制模块、数据存储模块

安全配件：超温保护开关、自动泄压阀、声光报警器、紧急停机按钮、过载保护器

炉体配件：耐高温炉门密封件、炉膛保温纤维、炉体固定支架

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