钼丝金属屏真空还原炉
钼丝金属屏真空还原炉技术方案
一、简介
钼丝金属屏真空还原炉是一种以钼丝为发热元件、多层金属屏为隔热元件的内热式真空电阻炉,广泛应用于高纯材料、硬质合金、钨钼制品、半导体材料等领域,在高温真空或还原气氛下进行还原、烧结、退火等热处理工艺。
该设备结构紧凑、热惯性小、升温速度快、温度均匀性好,适用于对材料纯度、组织结构和性能要求极高的工艺过程。
二、用途
金属氧化物还原(如MoO3→MoO3→Mo)
高纯金属粉末制备
硬质合金、钨钼材料烧结
半导体材料、稀土材料热处理
石英材料脱羟处理
三、工作原理
钼丝金属屏真空还原炉采用电阻加热原理,在高真空或还原气氛下,电流通过钼丝产生热量,热量以热辐射形式传递给物料,实现高温热处理。
反应示例:
MoO₃ + H₂ → MoO₂ + H₂O↑(一段还原) MoO₂ + 2H₂ → Mo + 2H₂O↑(二段还原)四、主要技术参数(典型型号示例)
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 额定功率 | 25~70kW |
| 最高温度 | 1600℃ |
| 工作区尺寸 | Φ150×200mm / Φ400×500mm |
| 极限真空度 | ≤6.67×10⁻³Pa |
| 压升率 | ≤0.2Pa/h |
| 温度均匀性 | ±5℃ |
| 加热元件 | 钼丝(Φ2mm,之字形结构) |
| 隔热结构 | 六层金属屏(内3层钼板,外3层不锈钢) |
| 控温方式 | 钨铼热电偶 + PLC程序控制 |
五、结构特点
炉体结构
立式或卧式、升降式，双层水冷结构,内层不锈钢抛光,外层碳钢防锈,炉壳温度≤50℃。
加热系统
钼丝绕制成圆形结构,水冷电极引出,热膨胀自由伸缩,避免应力断裂。
隔热系统
六层金属反射屏(Mo+SS),有效反射热辐射,减少热损失,升温快、能耗低。
真空系统
机械泵+扩散泵,可选配分子泵,数显真空计+PLC自动控制,抽气快、真空度高。
电控系统
程序控温仪,支持多段升温/保温/降温,具备断水、超温、过流报警及自动保护功能。
六、易损件与使用寿命
| 易损件 | 寿命 | 说明 |
|---|---|---|
| 钼丝加热体 | 4~6个月 | 高温氧化变脆断裂,不可重复使用 |
| 金属反射屏 | 1~2年 | 高温变形、氧化减薄,可局部更换 |
| 水冷电极 | 1年以上 | 密封老化、漏水需定期检修 |
| 热电偶 | 6~12个月 | 高温脆化、信号漂移需定期校准 |
注:寿命与使用温度、气氛纯度、操作规范密切相关。优化设计+规范操作可延长寿命至半年以上
使用注意事项(含加热元件)
升温前必须抽真空至≤10Pa以下,再通入保护气体(如H2、N2),严禁在氧化气氛下加热。
钼丝严禁受潮,使用前需干燥处理,防止高温氢脆断裂。
升温速率≤10℃/min,避免热应力导致钼丝断裂或屏变形。
定期检查水冷系统,防止断水导致电极或炉壳过热。
严禁超温运行(>1600℃),钼丝接近熔点将迅速蒸发失效。
停炉后需继续通H?至200℃以下,防止氧化。
定期清理炉内挥发物,避免污染反射屏或造成短路。
更换钼丝时需整体更换,避免新旧混用导致电流不均。
故障维修
- 2000℃真空碳管烧结炉|气氛碳管炉
- 高校用小型真空熔炼炉\小型真空熔炼炉
- 高温台车炉\台车式电阻炉Bogie hearth resistance furnace
- 卧式炭化炉：HC高热膜碳化炉
- VC散热板烧结炉\热管VC烧结炉
- 碳化硅烧结炉|2200度超高温烧结炉
- 高温石墨化炉\真空石墨烧结炉
- 2100度真空钨丝炉\2200℃超高真空钨丝烧结炉
- 赛特瑞真空热压炉\真空热压高温烧结炉
- 1400度箱式实验电炉\1400度箱式电炉
- 1200度滑轨式真空气氛管式电炉\1200度滑轨式管式炉
- 医用防护服拉伸试验机\口罩拉伸试验机
- STR 1200℃多工位真空气氛管式电炉\1200℃多工位管式电炉
- STR1200度带观察窗马弗炉又称可视高温炉
操作说明
- 多工位真空管式炉\多工位管式高温炉
- 1800℃管式炉\高温管式电阻炉
- SIGMA Single Zone Tube:1000℃-1800℃
- 2300度真空热压烧结炉Vacuum hot pressing sintering furnace
- 1400℃真空热压烧结炉\真空热压炉
- 小型智能高温电炉：实验室智能高温马弗炉
- 高温箱式热处理炉
- 小型转底炉rotary hearth furnace
- 什么叫转底炉？转底炉脱锌
- 转底炉：手动或自动装料机构
- 小型转底炉：什么是转底炉
- 感应式气相沉积炉
- 中频高温石墨化炉\3000℃度烧结炉
- 真空碳化炉：卧式真空碳化炉\立式真空碳化炉
电炉推荐
- 钼带加热炉：高真空热处理炉
- 钼丝金属屏真空还原炉
- 1600度卧式真空氢气炉：高真空钼丝加热炉
- 负极材料两列双层气氛箱式炉：STR PSF844-12预碳化炉
- 耐火材料荷软制样双面磨样机：双端面磨样机
- 试样切取设备：耐火材料专用切割机
- 显气孔率检测体积密度检测仪：气孔体积密度测试仪
- 荷软蠕变测试仪：荷软蠕变试验炉
- 高温耐火度测试仪:高温耐火度试验炉
- 耐火材料荷软取样机
- 1200度坩埚熔样马弗炉
- 耐火材料荷重软化试样钻机：荷软取样机
- 高温卧式膨胀仪：高温热膨胀系数测定仪
- 定形隔热耐火制品导热系数测试仪
