小型管式pecvd系统
TF10-12PECVD小型型管式等离子化学气象沉积系统为实验室用小型管式等离子化学气象沉积系统、小型管式pecvd系统。
pecvd管式炉系统是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
|
1200℃开启式管式炉技术参数 |
|
|
石英管尺寸 |
Φ100*L1200mm |
|
加热元件 |
高温电阻丝 |
|
测温元件 |
N型热电偶 |
|
加热区/恒温区 |
440mm/200mm |
|
工作温度 |
≤1100℃ |
|
控温模式 |
PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制 |
|
控温精度 |
±1℃ |
|
电功率 |
AC220V/50HZ/3KW |
|
质量供气系统 |
|
|
标准量程 |
50-500ml/min |
|
压力表测量范围 |
-0.1Mpa～0.15Mpa |
|
极限压力 |
3MPa |
|
针阀 |
316不锈钢 |
|
电功率 |
AC220V/50HZ/20W |
|
响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
|
重复精度 |
±0.2% |
|
真空系统参数 |
|
|
工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
|
功率 |
400W |
|
极限真空 |
4X10-1Pa |
|
进/排气口口径 |
KF25 |
|
射频电源 |
|
|
信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
|
功率输出范围 |
5W-500W |
|
供电电压 |
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
|
整机效率 |
≥70% |
该1200℃实验式用小型pecvd系统为小型pecvd设备。
高温升降式烧结炉 锂电池正极材料磷酸铁锂烧结炉 大管径管式炉 燃烧失重分析炉 混气箱式气氛炉
故障维修
- 2000℃真空碳管烧结炉|气氛碳管炉
- 高校用小型真空熔炼炉\小型真空熔炼炉
- 高温台车炉\台车式电阻炉Bogie hearth resistance furnace
- 卧式炭化炉：HC高热膜碳化炉
- VC散热板烧结炉\热管VC烧结炉
- 碳化硅烧结炉|2200度超高温烧结炉
- 高温石墨化炉\真空石墨烧结炉
- 2100度真空钨丝炉\2200℃超高真空钨丝烧结炉
- 赛特瑞真空热压炉\真空热压高温烧结炉
- 1400度箱式实验电炉\1400度箱式电炉
- 1200度滑轨式真空气氛管式电炉\1200度滑轨式管式炉
- 医用防护服拉伸试验机\口罩拉伸试验机
- STR 1200℃多工位真空气氛管式电炉\1200℃多工位管式电炉
- STR1200度带观察窗马弗炉又称可视高温炉
操作说明
- 多工位真空管式炉\多工位管式高温炉
- 1800℃管式炉\高温管式电阻炉
- SIGMA Single Zone Tube:1000℃-1800℃
- 2300度真空热压烧结炉Vacuum hot pressing sintering furnace
- 1400℃真空热压烧结炉\真空热压炉
- 小型智能高温电炉：实验室智能高温马弗炉
- 高温箱式热处理炉
- 小型转底炉rotary hearth furnace
- 什么叫转底炉？转底炉脱锌
- 转底炉：手动或自动装料机构
- 小型转底炉：什么是转底炉
- 感应式气相沉积炉
- 中频高温石墨化炉\3000℃度烧结炉
- 真空碳化炉：卧式真空碳化炉\立式真空碳化炉
电炉推荐
- 耐火材料热震实验炉：高温热震测试炉
- 高温电炉进气预热装置与尾气燃烧火炬
- 铍铜真空热处理需要真空度多少?
- STR CF2030-22升降式高温石墨加热炉2200
- 三温区大管径管式炉
- 1200℃高温箱式气氛热处理炉：1200℃高温箱式气氛炉
- 1100度大管径真空气氛管式炉
- STR VSF422-13高真空钎焊炉1300度
- 1300度高温真空钎焊炉：高温合金真空钎焊炉
- 850度铝真空钎焊炉：低温真空钎焊炉型号
- 高真空钨钼加热炉
- 真空钨丝丝状烧结炉：立式高真空钨钼加热炉
- 2300°C 碳化硅烧结炉
- Argon Graphite Heating Vacuum Furnace
