小型喷雾热解静电收集PECVD系统
小型喷雾热解静电收尘设备为实验室用喷雾热解静电收尘设备
小型喷雾热解静电收集PECVD系统主要有6个部分组成：纳米微雾发生仪，射频电源，供气系统、真空系统、TL1200管式炉、高压静电收集装置。
喷雾热解静电收集PECVD系统可用于合成各种纳米结构氧化物以及纳米材料的复合包覆工艺。用于纳米材料合成、电极材料材料包覆等。
小型喷雾热解静电收集PECVD系统组成
1、纳米微雾发生仪：配有一个2.4MHz超声雾化仪，可将液体雾化成液体颗粒，然后导入到管式炉中。
2、液体流量控制装置：注射泵或者蠕动泵
3、加热部分（管式炉）：管式炉最高温度可以达到1200℃。
4、射频电源：信号频率13.56MHz，功率500瓦
5、供气系统：配有智能供气系统，可任选气体和量程
6、真空系统：可将腔体直径抽到0.1Pa，具体视腔体大小而定
7、静电收集装置：收集罐容积1.2L,可有效地收集由流动气体和自由沉降带过来的纳米颗粒
喷雾热解法介绍：
喷雾热解法(Spray Pyrolysis)是近年来新兴的一种超细纳米粉体制备技术,属溶剂蒸发法中的一种。
喷雾热分解（spray pyrolytic decomposition）是2019年公布的冶金学名词。定义 将金属盐溶液以雾状喷入高温气氛中，通过溶剂的蒸发及随后金属盐的分解，直接获得金属或氧化物的过程。
喷雾热裂解简称热解。热解过程可以简单描叙为将各金属盐按制备复合型粉末所需的化学计量比配成前驱体溶液,经雾化器雾化后,由载气带入高温反应炉中,在反应炉中瞬间完成溶剂蒸发、溶质沉淀形成固体颗粒、颗粒干燥、颗粒热分解、烧结成型等一系列的物理化学过程,最后形成超细粉末。利用超声波雾化技术，可以将溶液均匀雾化成微米甚至是纳米级液态颗粒，通过载气将雾化液滴送入高温反应炉中进行热裂解反应。超声喷雾热解法可以制备出比常规热解法更均匀和微细的粉体颗粒。
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