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真空气氛炉炉内有油是什么原因？

文章出处：洛阳智能高温电阻炉-洛阳赛特瑞智能装备人气：237 发表时间：2019-06-14

真空气氛炉炉内有油是什么原因？炉内有油可能是高温真空炉扩散泵返油。

真空气氛炉上设置有真空机组，其中扩散泵用于抽高真空，而扩散泵需要加热使泵内的真空泵油达到一定温度才能使用。由于扩散泵油易氧化，高温时必须保证扩散泵内部为低真空度的环境；在扩散泵停止工作时，泵油冷却时间长，也必须要保持扩散泵内的低真空度环境。

用油扩散泵获得超高真空系统都要进行高温烘烤,目的是减少材料的出气速率。

被抽气体反扩散目的是什么？

被抽气体反扩散是限制扩散泵获得超高真空因素之一。气体反扩散和分子质量有关，质量愈小，愈易反扩散。扩散泵抽氢易反扩散，防止氢反扩散方法有两种：其一，降低扩散泵出口排气压力，采用两个扩散泵串联来实现;其二，是在扩散泵进气口管路上安装液氮冷却的钛升华阱来捕集反扩散的氢。

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