金刚石气相沉积炉
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：金刚石气相沉积炉
- 电炉类型：工业炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
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金刚石气相沉积炉哪家好？洛阳西格马可生产金刚石气相沉积炉。
气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。采用化学气相沉积（CVD）方法制备泡沫金刚石
金刚石气相沉积炉可用于沉积高质量的大面积金刚石膜，沉积的金刚石厚膜直径达Φ280mm，涂层面积达(330×300)mm2，膜沉积速率为(4-20)μm/h
1、生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等.
2、在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。
1、采用高压拉瓦尔喷头，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
2、采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；
3、设备自动化高，关键执行电气件采用；操作直观、简便，触摸屏经过开发，可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能，程序段可直接输入。
4、配带偏压电源，有效提高沉积速度；
| 参数型号 |
样品台 尺寸 |
热丝温度 |
衬底 温度 |
样品台升降位移 | 样品台转速 |
极限 压力 |
压升率 | 偏压电源 | 气体控制方式 |
| 单位 | mm | ℃ | ℃ | mm | r/min | Pa | Pa/h | V | |
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SGM CVD -250 |
Φ280 | 2400 |
700 -900 |
200 |
0-10 (可调) |
7×10-1 | 0.67 | 300 |
自动控制流量 |
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