采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;
具备柔性抽真空,真空烧结、微正压烧结、分压烧结等功能;
采用先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少,比传统设计节能20%以上;
采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小;
适于工艺气氛:N2/Ar/H2。
参数/型号 | VS-020203 | VS-040412 | VS-060612 | VS-080812 |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 200×200×300 | 400×400×1200 | 600×600×1200 | 800×800×1200 |
额定温度(℃) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
温度均匀性(℃) | ±3 | ±3 | ±5 | ±5 |
极限真空度(Pa) | 2×10-3 | 2×10-3 | 2×10-3 | 2×10-3 |
压升率(Pa/h) | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/金属
加热器:金属/石墨
热电偶:C分度号(钨套管/钼套管/陶瓷套管)
红外仪:单比色/双比色
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