采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;
采用特殊结构脱脂箱,密封效果好,脱脂完全,对炉内元件无污染;
具备柔性抽真空、真空烧结、压力烧结、微正压烧结、分压烧结、负压脱脂、TOWAC脱脂、微正压脱脂等功 能;
采用设计先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少,比传统设计节能20%以上;
适于工艺气氛:N2/Ar/H2/CH4/NH3。
参数/型号 | VDSF-030306 | VDSF-040408 | VDSF-040415 | VDSF-050520 |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 300×300×600 | 400×400×800 | 400×400×1500 | 500×500×2000 |
额定温度(℃) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
温度均匀性(℃) | ±4 | ±4 | ±5 | ±5 |
极限真空度(Pa) | 1 | 1 | 1 | 1 |
压升率(Pa/h) | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/金属
发热体、马弗材质:石墨/CFC/金属
热电偶:C分度号(钨套管/钼套管/陶瓷套管)
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