可实现高温法与化学法相结合的提纯工艺;
电阻炉采用西格马科技专属超高温、大电流引电技术,能在2600℃条件下长时间稳定使用;
电阻炉可采用多温区立控温,温度均匀性好;
采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小;
采用感应加热形式,额定温度可达3000℃,适用于高温法提纯;
适于工艺气氛:真空/N2/Ar/CH4/H2/工艺气体。
参数\型号 | VPF-050511 | VPF-060609 | VPF-101015 | VPF-131320 |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 500×500×1100 | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1300×1300×2000 |
额定温度(℃) | 2600 | 2600 | 2600 | 2600 |
温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±15 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质:石墨/CFC
热电偶:K/N/C/S分度号
红外仪:单比色/双比色
电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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