电阻炉可采用多温区立控温,温度均匀性好;
电阻炉采用西格马科技专属超高温、大电流引电技术,能在高温条件下长时间稳定使用,也可采用感应加热方式;
可选配全密闭马弗,密封效果好,抗污染能力强;
多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;
适于工艺气氛:真空/CH4/NH3/H2/N2/Ar/空气。
参数\型号 | VVP-0608 | VVP-1015 | VVP-1120 | VVP-1520 | VVP-2230 |
工作区尺寸 D×H(mm) | 600×800 | 1000×1500 | 1100×2000 | 1500×2000 | 2200×3000 |
额定温度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±10 | ±10 | ±15 | ±15 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 感应 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗材质:石墨/CFC
热电偶:K/N/C/S分度号
电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
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