卧式化学气相沉积炉（SiC、BN） 产品描述： 卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等 应用范围： 外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好；

可选配设计新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低；

使用工艺气氛：真空/CH₄/H₂/N₂/Ar/BCI₃/NH₃/MTS。

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）产品规格

参数\型号	HCVD-060609-SIC	HCVD-101015-SIC	VCVD-121220-SIC	HCVD-151530-SIC	HCVD-252035-SIC
工作区尺寸W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	2500×2000×3500
额定温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±7.5	±7.5	±10	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。

卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）配置选择

结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式：手动/自动

炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属

热电偶：K/N/C/S分度号

真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组