立式化学气相沉积炉（沉积炭） 产品描述： 立式化学气相沉积炉（沉积炭）用于以碳氢气体（如C3H8、CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理 应用范围： 炭/炭刹车盘、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

立式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

电阻炉可采用多温区立控温，温度均匀性好；

采用智能压力调控，压力波动小；

全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；

多级高效尾气处理系统，环境友好，易清理；

可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；

可用于高温热解炭沉积，额定温度可达2200℃；

适用于工艺气氛：真空/CH₄/C₃H₆/H₂/N₂/Ar。

立式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数\型号	VCVD-0305-C	VCVD-0608-C	VCVD-0812-C	VCVD-1120-C	VCVD-1520-C	VCVD-2632-C	VCVD-3038-C
工作区尺寸D×H（mm）	Φ300×500	Φ600×800	Φ800×1200	Φ1100×2000	Φ1500×2000	Φ2600×3200	Φ3000×3800
额定温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5/±10	±7.5/±10	±7.5/±15	±10/±15	±10/±15	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻	电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。

立式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式：手动/自动

炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗：石墨/CFC/金属

热电偶：K/N/C/S分度号

电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)