双管滑轨RTP快速升温炉 BTF-1200C-III-SL
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：双管滑轨RTP快速升温炉 BTF-1200C-III-SL
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
主要特点
可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区)，可预抽真空(有高真空、低真空)，通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用设备，性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下完全不需要操作人员监看、调整工作电流，可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。
技术参数
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额定功率 |
KW |
7 |
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额定电压 |
V |
AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz |
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额定温度 |
℃ |
1200（1 hour） |
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工作温度 |
℃ |
≤1100 |
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设计快升&降温速率 |
℃/S |
≤20 |
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炉管尺寸 |
mm |
高纯石英管异形内管尺寸：Φ100×1000mm，外管尺寸：Φ130×1800mm |
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加热区长度 |
mm |
300+300+300 |
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恒温区长度 |
mm |
150+200+150 |
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可移动范围 |
mm |
1760 |
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控温方式 |
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模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 | ||||||
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控温精度 |
℃ |
±1 |
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加热元件 |
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电阻丝(康泰尔电阻丝） |
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法兰 |
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质量流量计量程 |
50sccm，100sccm，100sccm，200sccm.（量程可根据客户要求配置） |
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标准配置 |
石英管2根（内管和外管各1根），不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵2只，高温手套1副，坩埚钩1支 | |||||||
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可选附件 |
石英托架，石英舟，石英钩，电阻真空计，手动挡板阀，波纹管，卡箍，真空泵，供气系统 | |||||||
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认证标准 |
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尺寸 |
mm |
1080×440×590mm（电炉） 2000×490×760mm（电炉+滑轨） |
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包装尺寸 |
mm |
2070×570×1110（木箱包装） |
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净重 |
Kg |
195 |
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毛重 |
Kg |
260 |
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产品名称 |
产品型号 |
产品图片 |
产品尺寸 |
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小型滑轨炉 |
SGM TF-1200C-S-SL |
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| 单温区滑轨炉 | SGM TF-1200C-SL | ||
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双温区滑轨炉 |
SGM TF-1200C-II-SL |
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三温区滑轨炉 |
SGM TF-1200C-III-SL |
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多种辅助功能选配区
| CVD系统 |
PECVD系统 |
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