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1200℃RTP滑动式快速退火炉

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:1200℃RTP滑动式快速退火炉
  • 电炉类型:实验电炉
  • 电炉品牌:西格马
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 厂家电话:
1200℃RTP滑动式快速退火炉

电炉概述:

SGM-T1200-S6015SGM1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100°C/m。为取得设计快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的不错的炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。

适用范围:

SGM-T1200-S6015SGM1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

电炉特点:

多晶纤维炉膛,节能耐腐蚀

重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。

炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工

具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。

双层内胆炉壳,配有风冷系统,快速升降温

整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

法兰采用双环密封技术

有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

内嵌式合金电热丝,升温快,寿命长

加热元件采用质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。

微电脑PID控制器,操作简便

操作简便,控温精度、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。

标准配件:

石英炉管×1

真空法兰×1

防烫罩×2

高温手套×1

坩埚钩×1

热电偶×1

刚玉坩埚×2

炉塞×2

中文说明书×1

注:坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件:

液晶触摸控制仪×1

多路质子流量计×1

耐高温真空泵×1

电炉名称

单管RTP滑动式快速退火炉

电炉型号

SGM-T1200-S6015Lk1-H

工作温度

1100℃(可选择)

额定温度

1200℃(额定温度可达1700℃)

温区长度

440mm(可根据需求定制)

恒温区

260mm

炉管尺寸

Φ60*1500mm

温控方式

30段PID微电脑可编程自动控制

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温及断偶报警功能

加热速率

0~20℃/分

加热元件

合金加热丝

工作电压

AC220V单项50Hz

额定功率

3KW

净重

80KG

炉膛材料

采用多晶陶瓷纤维,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转

滑轨尺寸

镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm

测温元件

K型热电偶测温

炉管材质

可选气炼石英炉管、刚玉炉管

气 密 性

4.03×10-3Pa

电气认证

CE认证

相关配件

气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞

售后服务

12个月质保、终身保修

价格需要根据详细参数确定,可与厂家详细沟通

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