电炉概述:
SGM-T1200-S6015SGM1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100°C/m。为取得设计快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的不错的炉子。 可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
适用范围:
SGM-T1200-S6015SGM1-H1200℃RTP滑动式快速退火炉可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
电炉特点:
多晶纤维炉膛,节能耐腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。
炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。
双层内胆炉壳,配有风冷系统,快速升降温
整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
内嵌式合金电热丝,升温快,寿命长
加热元件采用质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。
微电脑PID控制器,操作简便
操作简便,控温精度、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
标准配件:
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石英炉管×1 |
真空法兰×1 |
防烫罩×2 |
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高温手套×1 |
坩埚钩×1 |
热电偶×1 |
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刚玉坩埚×2 |
炉塞×2 |
中文说明书×1 |
注:坩埚可按用户需求选配合适的款型
可选配件:
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液晶触摸控制仪×1 |
多路质子流量计×1 |
耐高温真空泵×1 |
电炉名称 |
单管RTP滑动式快速退火炉 |
电炉型号 |
SGM-T1200-S6015Lk1-H |
工作温度 |
1100℃(可选择) |
额定温度 |
1200℃(额定温度可达1700℃) |
温区长度 |
440mm(可根据需求定制) |
恒温区 |
260mm |
炉管尺寸 |
Φ60*1500mm |
温控方式 |
30段PID微电脑可编程自动控制 |
控温精度 |
±1℃ |
温控保护 |
具有超温及断偶报警功能 |
加热速率 |
0~20℃/分 |
加热元件 |
合金加热丝 |
工作电压 |
AC220V单项50Hz |
额定功率 |
3KW |
净重 |
80KG |
炉膛材料 |
采用多晶陶瓷纤维,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
法兰接头 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转 |
滑轨尺寸 |
镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm |
测温元件 |
K型热电偶测温 |
炉管材质 |
可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
气 密 性 |
4.03×10-3Pa |
电气认证 |
CE认证 |
相关配件 |
气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞 |
售后服务 |
12个月质保、终身保修 |
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