1200℃高温真空CVD涂层设备
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃高温真空CVD涂层设备
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
电炉概述：
适用范围：
标准配件：
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| 气炼石英炉管×1 | 浮子混气系统×1 | 真空系统×1 |
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| 高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
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| 刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
| 结 构 |
采用双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于55°C。保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维 可以环保节能，减少热量的损失内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率， 同时也可以延长仪器的使用寿命 |
| 加热元件 | 掺钼合金加热丝 |
| 正常工作温度 | 1100℃(可选) |
| 额定温度 | 1200℃（可选择） |
| 额定升温速率 | 20°C/min （建议：0- 10°C/min） |
| 加热区长度 | 400mm (18")/td> |
| 恒温区长度 | 180mm(+/-1°C) |
| 温控精度 | ±1℃（具有超温及断偶报警功能） |
| 温控系统 | 一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。 |
| 密封法兰 |
两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵 真空压力可以达到5x10-2 torr， 泄漏率额定6 mtorr/min |
| 工作电压 | 220V，50HZ，单相 |
| 功 率 | 5KW |
| 真空泵和配件 | 真空泵: 一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr |
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标配的真空配件 : 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口，两个不锈钢针阀， 1/4"的软管接头一个1000mm长的 KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍一个LED数字式真空显示计（测量范围： 0.1mtorr ~ 850 torr) |
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| 气体流量计 |
4个浮子流量计，可同时混入4种不同气体。 四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、 底部装有泄废液口 MFC 1范围 0~100 sccm MFC 2和3 0~500 sccm 进气接口 1/4NPS 出气接口 1/4NPS |
| 电炉尺寸 |
外径80 & 1000mm 的氧化铝石英管 炉体尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H 混气系统：: 600 x 600 x 700mm 真空机组： 600 x 600 x 700mm(更多规格可根据用户需求定制) |
| 电气认证 | CE认证 |
| 售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
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