适用范围:
石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统,是专门为在金属箔(像铜箔、铝箔等)上生长薄膜而设计,广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上,特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
标准配件:
质子流量计×1 |
真空系统×1 | 射频电源×1 |
气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | 防烫罩×2 |
高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
可选配件:液晶触摸控制仪全自动智能型水冷机
电炉名称 | 1200℃石墨烯生长炉 |
电炉型号 | SGM-1200T-S6012SGM1-4Z5S |
恒温区长度 | 150mm (+/-1 ℃) |
加热区长度 | 440mm(更多规格可按用户需求定制) |
正常工作温度 | 1100℃(此温度为长期加热温度 可选) |
额定温度 | 1200℃(额定可选1700℃) |
炉管尺寸 | Φ60×1440mm(更多规格可根据用户需求定制) |
输出功率 | 5 ~500W ± 1% . |
射频频率 | 180mm(+/-1°C) |
恒温区长度 | 13.56 MHz ±0.005% . |
反射功率 | 额定约200W |
阻抗匹配 | 自动 |
真空度 | 10-3torr |
波纹管 | KFD25 快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. |
四通道控制 | 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
MFC 1范围 | 0~100 sccm |
MFC 2和3 | 0~500 sccm |
进气接口 | 1/4NPS |
出气接口 | 1/4NPS |
水冷法兰要求 | 水流量 >= 10L/M ,配有专业水冷机组 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
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