低真空CVD石墨烯生长系统：SGM-TF60-12小型管式CVD
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：低真空CVD石墨烯生长系统：SGM-TF60-12小型管式CVD
- 电炉类型：管式炉
- 电炉品牌：西格马小型CVD
- 电炉规格：
- 电炉温度：1200℃
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- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
SGM-TF60-12小型管式CVD为低真空CVD石墨烯生长系统、实验用小型CVD系统，该SGM-TF60-12小型管式CVD是由SGM-TF60-12高温管式炉、3路质量流量控制系和真空系统所组成。有小型双温区管式炉CVD系统、滑膛式管式炉CVD系统
SGM-TF60-12小型管式CVD可应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。主要用于SiO2, Si3N4 沉积。
CVD(Chemical Vapor Deposition, 化学气相沉积)，指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。
1.SGM-TF60-12高温管式炉
| 电炉名称 |
1200度高温管式炉 |
| 电炉型号 |
SGM-TF60-12 |
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设计温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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石英管尺寸 |
Φ60，可选φ60、Φ80、φ100*1000mm |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定。 |
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加热元件 |
高温电阻丝 |
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加热长度 |
440mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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控温精度 |
±1℃ |
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供电电源 |
单相，220V，50Hz |
2、三路质子流量控制系统
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制） |
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准确度 |
±1.5%F.S |
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线性 |
±1%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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设计压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
3、低真空机组
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作环境 |
5℃～40℃ |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽气速率 |
10m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa |
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工作压力范围 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐压值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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