SGM PECVD60-1200R转动式PECVD系统为洛阳西格马高温电炉生产的PECVD系统。转动式PECVD系统炉管可实现360度旋转和0-30度倾斜，管内壁有石英挡片帮助材料翻转有助于烧结或镀膜更加均匀。炉膛采用日本氧化铝纤维材料。

转动式PECVD系统管式炉采用的管式电阻炉采用双层壳体结构，标配30段程序控温系统，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的高温烧结设备。

SGM PECVD60-1200R转动式PECVD系统

结构配置特点：

1、炉膛材料：采用氧化铝多晶纤维材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

2、加热元件：采用良的加热元件，温场均衡、使用寿命长。

3、开门保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。

4、漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

5、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

6、控制系统：

1）电器：正泰，

2）可控硅：德国西门康106/16E，3触发器：移相触发。

7、控温仪表：采用宇电程序控温仪表。（可选配日本岛电，英国欧陆等品牌）

1）30段程序控温智能PID调节。（可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表）

2）具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3）带有485通讯接口（选购软件时标配）

4）具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5）仪表具有温度自整定的功能。

8、可增加进气、排气阀门

9、电器部分可选配ABB产品

10、选配件：

1）50段程序控温，

2）液晶触摸屏控制器或温度控制器3、炉膛尺寸可定做

主要技术参数：

1、电炉名称：转动式PECVD系统

2、电炉型号：SGM PECVD60-1200R 

3、炉管尺寸：Dia60(OD)X1400mm

4、加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝

5、额定温度：1100℃

6、设计温度：1200℃

7、热电偶：K型

8、加热段：440mm

9、电炉功率：5KW

10、转动电机功率：40W

11、炉子倾斜角度：-10~30度

12、转动密封方式：采用转动磁流体密封

13、视频电源：功率输出范围0-500W

14、更大反射功率：10W

15、射频电信号频率：56MHZ±0、005%

洛阳西格马高温电炉可生产PECVD系统设备，转动式PECVD，滑动式PECVD，多温区管式。可根据客户需求定做各种非标高温电炉。

PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 是指 等离子体增强化学的气相沉积法。

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