高真空钼带炉主要由炉体、真空系统、水冷系统及电器控制系统等部分组成。
高真空钼带炉结构简介
1、 炉体由炉门、炉身、炉底、隔热屏和加热器、承料台等组成。炉门是由双层封头及法兰盘组焊而成,采用双层夹壁结构,内、外封头内有循环冷却水进行冷却(水源需方自备)。炉门内封头采用不锈钢板制作。
2、炉身由内、外炉筒采用不锈钢板制作;炉身上设有电极引出装置、进出气接口、热电偶测温装置及观察孔;炉门和炉体通过升降轴铰链连接,炉门开启方式为侧开门;在炉门上设有放压紧装置。
3、采用全金属材料制作,结构型式为圆形隔热屏,共分为多层,由里到外,采用钼片材料,和304不锈钢板材料。
4、加热器也采用圆形结构型式,安装在圆形隔热屏的圆周上,使其形成一个整体;加热器采用钼丝绕成,易于拆卸和维修。加热器的绝缘材料均采用高纯氧化铝陶瓷;承料架采用钼材料加工而成。
6、真空系统:真空系统由KT300扩散泵+BSV60直联泵,手动挡板阀、真空管道及真空电阻硅等组成。
气冷系统:充气装置(不含气体干燥、气体过滤及尾气处理系统)主要由充气阀、浮球流量计、充气管道、排气阀等组成,用于工艺所需充氩气、氮气的气氛要求,设计大充气压力≤0.05MPa(微正压、表压),通过气氛流通起到加速降温的作用。
7、水冷系统: 水冷系统由总进水管、总出水管、多路分进水管、多路分出水管、阀门及压力表等组成。冷却水由总进水管经过各分进水管进入到炉壳、炉门、电极等需要冷却的地方,再经各分路出水管汇集至总出水管排出。总进水管上设有电接点压力表,当总进水压力低于设定值时,控制系统会有声光报警并能自动切断加热器电源。每路分进水管上都装有阀门,可以对单路的冷却水的流量进行调节( 水源需方自备)。
8、电器部分:电炉的功率控制采用可控硅功率控制器+大电流变压器,可控硅功率控制器采用移相触发方式来实现电压的无级调节,从而达到自动控制功率。
产品型号 |
SGM-MSL1400 |
工作区尺寸 |
400*400*400(可定制) |
控温精度 |
±1℃ |
密封方式 |
O型硅橡胶 |
温控方式 |
液晶触摸屏程序控温仪+可控硅电压调整器+变压器 |
真空度 |
6.67*10-3pa(冷态空载) 分子泵机组 |
气体 |
可通:氮气,氩气(正压<0.02Mpa下使用) |
工作电源 |
AC380V |
功率 |
约70KW |
常用温度 |
≤1400℃ |
隔热屏 |
采用全金属材料制作,结构型式为圆形隔热屏,由里到外,采用钼片材料和不锈钢板材料组成 |
加热方式 |
加热器采用圆形结构型式,安装在圆形隔热屏的圆周上,使其形成一个整体;加热器采用钼丝绕成,易于拆卸和维修 |
测温元件 |
钨铼热电偶 |
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