三路浮子流量控制器

三路浮子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.该气体流量控制器可以外接3种气体,采用浮子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

三路浮子流量控制器为实验室用小型多路混气系统，可用于控制一种到多种气体的通入。实验管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。 

三路浮子流量控制器应用范围：

1、半导体制造行业中气体流量控制

2、各种真空镀膜设备

3、材料表面处理

4、气体燃烧控制

5、混和配气系统

6、环境检测与分析设备

7、分析仪器的气体流量计量与控制

8、化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

三路浮子流量控制器技术参数

混气系统介绍：

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

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