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1200度三温区二通道混气高真空CVD系统炉OTF-1200℃-III-HVC

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电炉名称:1200度三温区二通道混气高真空CVD系统炉OTF-1200℃-III-HVC
  • 电炉类型:实验电炉
  • 电炉品牌:西格马
  • 电炉规格:
  • 电炉温度:
  • 厂家电话:

1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉OTF-1200℃-III-HVC

1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统炉OTF-1200℃-III-HVC 的详细介绍

OTF-1200℃-III-HVC是由OTF-1200℃-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其额定温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行的混气,然后导入到管式炉内部。

三温区二通道混气高真空CVD系统炉技术参数

OTF-1200℃-III管式炉

壳体结构

双层壳体结构,便带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55度 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管

材质:高纯石英管 石英管包含在内 可以选择其他管径

功率

7KW

额定电压

AC 208-240V 单相50/60Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,程度的延长加热元件的使用寿命)

工作温度

额定温度:1200℃ 连续工作温度:1100℃

升温速率

升温速率:1~20℃/min 可编程

加热区长度

总加热区:900mm (300mm + 300mm + 300mm)

控温程序

三个精密温度控制器分别控制三个温区 PID自动控制方式,可设置30段升降温程序 控温精度:±1℃ 热电偶:采用K型热电偶进行测温

真空密封

一对不锈钢真空法兰,已经安装 法兰上已安装机械压力表 一对精密针阀 KF-40抽气接口

额定电压

AC 208-240V 单相, 50/60Hz

尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空机组

结构

壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 承重:600 Lbs 分子泵显示屏:LCD 数字显示 壳体内安装有有一台德国制造分子泵

抽气速率

N2 33L/s He 39L/s(2340L/minute) H232L/s

工作范围

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

<1E-8 mbar (无泄漏)

电压&功率

110VAC~220VAC, 110W

质量流量控制系统

壳体结构

2~9通道气体采用PLC触摸屏控制和PC操作软件 LED 显示 4通道MFC采用316不锈钢制作,气体流量如下

通道1: 0~100SCCM

通道2: 1~199 SCCM

通道3: 1~199 SCCM

通道4: 1~499 SCCM

4个通道的气体经过气体混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm

功率

18W

额定电压

AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管密封圈加热元件等易耗件

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

价格需要根据详细参数确定,可与厂家详细沟通

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