晶体生长炉SKJ-50CZ
晶体生长炉SKJ-50CZ 的详细介绍
SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉,可针对于材料的实验探索,也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石、GGG,YAG,LaAlO3,Si 和 Ge 等,*高温度可达2100℃,可长出晶体尺寸为3英寸。
技术参数
感应射频功率为25KW,射频0.2-20KHz 提拉速度 :0.1-20mm/h,仔晶杆旋转速度0~~40RPM 提拉行程:50CM 可熔融温度为:2100℃ 输入电源:三相,380V,25KW 真空腔体尺寸为 :50cmdia.℃70cmh,其真空度可以达到10-3torr(用机械泵)10-5tor(用扩散泵) 冷却水需求: 所需水压 0.13~~0.18MPa 所需水流量60L/minute 冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆电炉尺寸: 炉体: L880x W1250x H2640mm 控制柜:L680x W540x H1700mm 中频柜: L965xW 812xH1219mm 电炉净重 1.5T
培料的熔融 | 种仔晶 | 提拉 | 熔融 |
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