1200℃5英寸三温区旋转CVD管式炉-OTF-1200℃-5L-R-CVD

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OTF-1200℃-5L-R-CVD是一款旋转CVD炉。炉体有3个加热区，可提高温度均匀性，同时配有4通道的精密混气系统。此款管式炉设计主要用于电池粉体材料表面包覆或其他粉体材料表面修饰。设备相关论文（点击查看）

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