名称

温控型真空感应加热炉系列

视频

型号

SP-50KTC

SP-85KTC

感应电源

·工作电压：380V，50Hz，三相

·空气开关：需要100A空气开关

·输入功率: 15KW

·输出频率:30-80kHz

·保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护

温控系统和热电偶

·精密数显温控系统，采用PID调节方式

·可设置30段升降温程序

·带有过热和断偶保护

·控温精度：±5ºC

·热电偶: C 型热电偶 (Φ6.35x400mmL )

·连续工作温度.: 1000ºC~1900ºC

·*高温度：2000ºC（<30min）

·升温速率:

1度/秒1000-1200ºC；

1度/2秒 1200ºC-1500ºC ；

1度/4秒 1500ºC-2000ºC

石墨坩埚，耐火材料和防护罩

·高纯石墨坩埚:50mm(内径) * 40mm(外径) * 110mm（深）,坩埚是用来感应加热和熔化金属

·容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2

·可熔炼物料的质量：*多0.6Kg（按纯铁的密度计算）

·可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，可放置晶片尺寸为1.5''O.D*1/8''T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀

·保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）

·注意:石墨坩埚是易耗件

·高纯石墨坩埚:114mm（内径） * 100mm（外径） * 142mm（深），坩埚是用来感应加热和熔化金属

·容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2

·可熔炼物料的质量：*多4Kg（按纯铁的密度计算）

·保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）

·注意:石墨坩埚是易耗件

密封法兰和石英腔体

·两端开口的石英管尺寸：130mm(OD)* 122mm(ID) *360mm(L)

·顶部法兰:采用不锈钢铰链法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀

·底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接

·仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接

·两端开口的石英管尺寸： 216 mm(OD) * 208 mm(ID) * 500mm(L)

·顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀

·底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接

·仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接

真空计

·防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托

·一个输出电压24v、1A直流电源适配器。适配器的输入电压是单相110~240v。

浮子流量计

紧凑型直读浮子流量计，100-1000scc/min。精度:4%。

泄压阀

为了安全考虑，在腔体内安装泄压阀，当压力大于0.02MPa时，阀门会自动释放压力，保证安全。

循环水冷机（可选）

·温度范围：5～30℃

·水流量：16L/min

·水箱：不锈钢材质，容积为12L。

注意：建议使用特定的冷却液以获得*好性能。在几次加热试验后，等待几分钟冷却属于正常现象

真空泵（可选）

·标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵

·电压：AC 208-240V 50Hz,单相

·功率：0.4KW

另有多种真空泵，详情请点击下图选择

电炉尺寸

整体机器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）

净重

100Kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如炉管，耐火材料，密封圈，石墨坩埚和感应圈等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

认证

如果客户需要通过MET认证，需自行支付认证费用，具体价格请联系我们的销售代表。

认证标准包括:1)感应加热器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水机组:UL61010 & UL1995

注意事项

·为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM

·C型热电偶是耗材，不在我们的保修范围内

·熔融时间和温度与材料、坩埚、耐火材料绝缘等有关。如果你不知道感应加热器是否能熔化你的样品，请联系我们的工程师咨询

·感应熔融系统的设计是在真空和低压下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi

·必须在气缸上安装减压阀，将压力限制在3psi以下，以保证安全运行。点击这里了解气体调节器的安装

·当出气口关闭，炉腔内存在正压状态时，不要加热炉子。在加热过程中，必须使用压力表来密切监测室内情况;一旦燃烧室压力超过3psi，请立即打开气体释放阀门，以防止不可预见的损坏

应用

·PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚，使其能够成为生长长型碳化硅晶体，请点击下面的图片或问我们的工程师如何

·此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们

·如需定制，请联系我们的销售部

免责声明

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