基本参数

热偶：K型热偶 建议升温速率：≤10℃/min

温度：1100℃ （1200℃＜1h） 电源：AC220，50Hz 功率:5KW

高纯石英管尺寸

·以下高纯石英管尺寸可选：

·Φ25 Φ50 Φ60 Φ80 Φ100 Φ130

加热区

加热区长度：600mm (三温区：150mm+300mm+150mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

密封法兰

·一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内

·两个针阀已分别安装在两个法兰上（图一）

·一个真空压力表安装在一侧法兰（图一）

·可选：您可以选购kf25真空口法兰（图二）

·可选：您可以订购法兰支架（图三）

·可选：铰链法兰（图四、五）

温控系统

·包含一款YD518P型温度控制器

·PID自动控温系统

·智能化30段可编程控制

·控温精度：±1℃

·三个温区分别有三个立的温控系统控制

·默认DB9 PC通信连接端口

·通过MET认证

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准（可选）

·定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

·48”L（1/4”OD）K型热电偶校准

·一Omega温度校准器

·热电偶补偿线

·你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

外形尺寸

1050L x 440W x 700 H mm

净重

约70Kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

真空&法兰

·通过机械泵可达到50mTorr（参考值，详情请点击）

·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr（参考值，详情请点击）

·可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可选部分

为了方便搭建完整的CVD系统，您可以在我公司选购混气系统、液相气体发生气和石英支架

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

使用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

应用提示

·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰

·如何安装石英管和真空法兰

·为了在管式炉内获得准确的温度，在使用前需要校准温度，请点击这里了解如何使用

相关文献

二硫化镱对二氧化碳的静电还原作用

免责声明

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