SGM-1700℃-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
带3路浮子混气三温区1700℃管式炉 的详细介绍
SGM-1700℃-III-F3LV是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统,其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵,混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃,真空度可达到5x10-2torr ,可以混合1-3种气体。
技术参数
炉体结构 (点击图片查看详细资料) |
采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃ 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,程度减少能量损失 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命 三个温区分别被三个立的温控系统控制 |
功率 |
10KW(需要7的空气开关 ) |
电压 |
AC380V50Hz |
加热区 |
总加热区长度:25"(630mm) 加热温区1长度:7.5"(190mm)1400°C 通过4根硅碳棒加热,*高温度可达1400℃ 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 升温速率:10°C/min 加热温区2长度:10"(250mm)1700°C 通6根硅钼棒加热,*高温度可达1700℃ *快升温速率:5°C/min 加热温区3长度:7.5"(190mm)1400°C 通过4根硅碳棒加热,*高温度可达1400℃ 升温速率:10°C/min |
炉管和法兰尺寸
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99.8%高纯刚玉管 purityAluminaTube
(标配)(60mm)O.D.x I.D.(50mm)x 1200mm L
一对60mm的不锈钢密封法兰,法兰上已安装阀门和仪表
仪器中包括4个氧化铝管堵
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温控系统 |
3个温控系统,都是PID30段程序化控温 控温仪表操作视频 |
控温度 |
+/-1°C |
低真空系统
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采用TRP-12的双旋机械泵,其针对于本公司的管式炉,真空度可达到 10-2Torr. 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上,其尺寸为 25mmDiax1000mmlength ,可于管式炉上的法兰相连接 |
防腐型真空计
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其测量范围为3.8x10-5 * 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
三路浮子混气系统
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3个浮子流量计(度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 路气体流量范围为10-100cc/min. 路气体流量范围为16-160cc/min. 第三路气体流量范围为25-250cc/min. 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 移动架上安装有4个不锈钢针阀 |
尺寸 |
高温炉:863Lx457Wx711Hmm(34Lx18Wx28Hinch) |
质保期& |
一年质保期.(不包括炉管加热元件和密封圈 .) CEcertified
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Operation Manual Download Catalog Quick test instruction
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