1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL
- 电炉类型：高温电炉
- 电炉名称：1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL
- 电炉类型：实验电炉
- 电炉品牌：西格马
- 电炉规格：
- 电炉温度：℃
-
- 厂家电话：
智能高温电炉厂家
多年专注于智能高温电炉的研发与制造
1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL
1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL 的详细介绍
OTF-1200℃-II-ZL是一款炉管可在炉管内部移动的（在真空气氛保护环境下移动）管式炉，*多可依次移动4个坩埚。特殊的坩埚推送机构，可将坩埚在炉管内推出后再拉回，让坩埚能做往返移动。坩埚移动位置&炉体的温度控制都采用一触摸屏控制。此款设备可进行物理化学混合沉积（HPCVD），快速热蒸发（RTE）等实验，特别适合制备多层二维晶体材料。
技术参数
|
开启式管式炉
|
双温区管式炉：两个立的温控系统分别立控制两个温区 加热区长度：温区1:200mm, 温区2:200mm 炉管材料：高纯石英 炉管尺寸：外径: 60×内径: 54×长: 760mm 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考） 额定温度：1200℃（<1hr) 连续工作温度：1100℃ 控温精度：+/-1℃ |
|
真空密封 |
配有不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表 进气端法兰接口为Φ6.35卡套接头，出气端法兰接口为KF25接口 法兰密封圈采用水冷却，使用时需要通入冷却水，可在本公司选购循环水冷机 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵) |
|
坩埚移动机构（转轮式法兰） |
一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部，并与坩埚相连接(图1)
通过步进电机驱动使坩埚移动，并和热电偶和坩埚一起移动，实时监测样品的温度
进气端法兰转轮式法兰（图2）
可同时在转轮系统中放入4个坩埚，可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中（可在真空状态或气氛保护状态进行运作）
|
|
坩埚移动控制 |
通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置 可控制坩埚*小移动位移为1mm 坩埚移动距离为200mm |
|
防腐型数显真空计
|
配有一数显防腐型真空计 当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换 对于气体的压力检测具有较高的度和重复性 因为传感器上镀有涂层，所以具有较好的抗腐蚀性 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr |
|
混气系统
|
此套设备中配有一2路混气系统 输出功率：18W 工作温度：5-45℃ 气压：3×106Pa 精度：±1%FS 质量流量计量程： 1:0-100sccm 2:1-199sccm 可根据客户要求选购1-5路供气系统 |
|
电炉尺寸 |
2400L×600W×1300mm H
|
|
质保 |
一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件） |
|
使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
|
应用注意事项 |
此款管式炉具有多种用途 热蒸发：把蒸发料放在坩埚里，通过移动坩埚来找到所需要的蒸发温度 HPCVD：和热蒸发相似，可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积 可用于制作多层二维晶体 |
联系1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL厂家电话，沟通1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL详细参数和1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200℃-II-ZL价格
版权所有 洛阳西格玛智能电阻炉 备案号： 豫备 保留所有权利.
售前客服