SP-50KTC是一套小型高温感应加热/熔炼系统,配用15KW的感应电源,Φ130mm的石英管、密封法兰、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min的循环水冷机、真空泵和移动架等。针对于生长晶体,金属熔炼和各种材料的热处理,是较好的实验帮手。仪器*高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体)。
2000℃温度可控型感应加热炉 的详细介绍
SP-50KTC是一套小型高温感应加热/熔炼系统,配用15KW的感应电源,Φ130mm的石英管、密封法兰、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min的循环水冷机、真空泵和移动架等。针对于生长晶体,金属熔炼和各种材料的热处理,是较好的实验帮手。仪器*高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体)。
警告:
使用此仪器时,熔炼必须在≤0.02Mpa的流动氩气下进行,流量小于200ml/m,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa,操作仪器前,必须仔细阅读说明书,而且操作人员需带防护面罩。实验升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂,法兰蹦出甚*造成意外。
技术参数
高频感应加热设备
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工作电压: 三相380VAC 50Hz (需60A空气开关) 输入功率: 25KW 震荡频率:30-80kHz 循环比:80% 感应线圈:150mm(OD)x140mm(ID)x90mm(H) 保护系统:带有自动水压、过热、功率过高保护 耐火材料:配有多块采用氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,和防止热量辐射 |
温度控制器& 热电偶
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工作电压:208~240VAC, 单相
采用PID方式控温,可设置30段升降温程序
设备带有过热和断偶保护功能
控温精度:+/-3ºC
采用C型热电偶,探头伸入到石墨坩埚内
长期使用温度:1900ºC
额定温度:2000ºC(<5小时)
升温速率: 10ºC/second(1000ºC-1200ºC) 8ºC/second(1200ºC~1500ºC) 3ºC~6ºC/second(1500ºC~2000ºC) |
石墨坩埚和耐火砖
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高纯石墨坩埚: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩埚是用来感应加热和熔化金属
容量:样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
可选:为对晶片热处理,可定制石墨样品台,可放置晶片尺寸为1.5''O.Dx1/8''T,因为石墨导热率非常高,所以可使放置的晶片受热均匀 保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡,总厚度为32mm,石墨保温毯(可耐温2200℃)氧化铝毯(耐温1700℃) |
密封法兰与石英管
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顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰,带有一1/4"的铠装接口(可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度)法兰上安装有不锈钢截止阀
底部法兰:底部法兰接口为KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接。 石英管尺寸:130mm(OD)x122mm(ID)x360mm(L) 仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管,以便与真空泵相连接
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防腐型真空计(可选)
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当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,量程可到3.8x10E-5torr |
循环水冷机
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温度范围:5-30°C 水流速: 16L/min 水箱容积:12 Liters 采用不锈钢制作 水压≥0.1MPa,流量≥5L/Min 注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质 |
真空泵
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仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵,使管内的真空度达到10e-2torr 工作电压AC208-240V, 单相 |
移动炉架 |
结构: 钢框架结构 800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管 |
电炉尺寸
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感应加热器:520mmx520mmx450mm 水冷机组:460mmx475mmx762mm 移动炉架: 600mm(L)x800mm(W)x597mm(H) |
质保期 |
一年质保期,终身维护,不包括石英管、硅胶密封圈和石墨坩埚损耗件) |
注意 |
为了保护石墨坩埚和C型热电偶,要不断通入惰性气体
请点击这里了解感应加热的原理
如果您对感应加热和熔炼的东西不了解,可以咨询我们的工程师
此设备可改为RTP(快速热处理炉)和混合物理化学气相沉积(HPCVD)系统,请点击下面的图片查看,如您有任何特殊需求可联系我们
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净重 |
120Kg |
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