名称

1200℃小型滑轨RTP炉

炉体结构

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得炉体表面温度小于60℃

·炉底安装一对滑轨，可来回滑动,以实现快速升降温

基本参数

工作温度：*高1200℃（<30min）；长期1100℃

石英管管径：50 O.D×45 I.D×1000 L mm

加热区长度：200mm

功率：1.5KW

电压：AC220V，50HZ，单相

温控系统

·PID自动控制

·可设置30段升降温程序

·内置过热报警和保护，可实现无人看护

·控温精度：±1℃

·含两根K型热偶。一根装在炉内控制炉内温度，另一根装在管子里用来检测样品实际温度

·一个连接管内热偶的NIST认证温度表，此表可接计算机获得温度曲线图

滑轨

·镀Cr厚钢板做的双向滑轨

·滑动长度：300mm

加热元件

掺钼铁铬铝电阻丝

真空密封法兰

·标配不锈钢真空法兰一套

·多种法兰可供选配。具体请点击下方链接。详情请咨询销售部

真空度

取决于真空泵

·机械泵可到10E-2torr

·如您想获得更高的真空度(<10E-5 torr ) 可选国产或高真空机组

进气口/出气口接头

·为了获得更高的出气速率，得到更高的真空度，可选配KF25转接头

·为了使管内获得微正压，进气口可选配φ6.35的卡套接头

外形尺寸

1200L×400 W×500 Hmm

净重

100Kg

警告

样品的快速冷却可以通过滑动加热腔来实现。请在操作时穿上防护装备，如防热服和手套等防止。

注意：实验期间不要用手去触摸管表面!

应用注意事项

·为了避免热辐射破坏O型密封圈和热量损失，可放两个管堵在管内两端

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全。

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·不建议不放坩埚将样品直接放入炉管内，这样对炉管的污染及损耗较大，建议您根据不同炉管尺寸我公司选购合适规格的坩埚。

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

·如果您想获得更快的冷却速度，可选购一台便携式空冷机进行调节

·在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

质保期

一年保修，终身技术支持。

免责声明

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